所有的爐管均配備一個(gè)綜合的晶舟處理系統(tǒng),其可以存放多達(dá)8個(gè)工藝晶舟,同時(shí)也集成有一個(gè)晶圓傳輸系統(tǒng)。水冷式加熱器外殼和軟著陸系統(tǒng)設(shè)計(jì)能限度排除外部環(huán)境影響。且易于維護(hù),能確保低維護(hù)成本及高的正常運(yùn)行時(shí)間。
產(chǎn)品適用于退火、擴(kuò)散、氧化、低壓化學(xué)氣相沉積、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積等工藝。
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
模塊化部件設(shè)計(jì),便于在潔凈室內(nèi)安裝與啟動生產(chǎn)