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  • ULVAC CS-200系列磁控濺射臺

ULVAC CS-200系列磁控濺射臺

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2022-05-27
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量441
  • 人氣值7962
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公司主營產(chǎn)品分為四大類,光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測。
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ULVACCS-200系列磁控濺射鍍膜設(shè)備是一款追求低成本和用戶友好操作的磁控濺射設(shè)備,通過增加配有機(jī)械手d裝載固定腔室(Loadlockchamber)使在上下基板時(shí)工藝腔室仍保持真空
ULVAC CS-200系列磁控濺射臺 產(chǎn)品詳情

ULVAC CS-200系列磁控濺射鍍膜設(shè)備是一款追求低成本和用戶友好操作的磁控濺射設(shè)備,通過增加配有機(jī)械手d裝載固定腔室(Load lock chamber)使在上下基板時(shí)工藝腔室仍保持真空。

主要技術(shù)參數(shù):

適用于小于8inch的各種基板;

配備300℃的基本加熱裝置,可選配600℃的基本加熱裝置;

可選配RF源;

膜厚均勻性好于±5%;

ULVAC CS-200系列磁控濺射臺

佳鼎半導(dǎo)體提供半導(dǎo)體加工設(shè)備現(xiàn)貨供應(yīng)服務(wù),包括ASML、Nikon光刻機(jī)、愛發(fā)科刻蝕設(shè)備、蒸發(fā)鍍膜設(shè)備、沉積設(shè)備等等。

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