SEMILAB壽命測量裝置WT-2000MCT
SEMILAB壽命測量裝置WT-2000MCT
壽命測定裝置WT-2000(μPCD載體壽命),壽命測量裝置WT-2000MCT,SPV設(shè)備FAaST 310/210 SPV,FAaST 350 DSPV,載流子壽命測定裝置WT-2000/2A
產(chǎn)品介紹
壽命測量裝置 WT-2000 是一個功能強大的臺式測量平臺,能夠執(zhí)行許多不同的半導(dǎo)體材料表征。基本系統(tǒng)包括執(zhí)行表征所需的所有間接功能,包括電源、計算機、操作軟件和 XY 測量臺。該系列通常用于創(chuàng)建地圖,在地圖上使用可編程光柵掃描晶圓。WT-2000 還允許在特定的可編程位置進行測量。除了硅,SEMILAB 還經(jīng)營使用短波長激發(fā)激光的寬禁帶半導(dǎo)體(SiC、GaN)的壽命測量設(shè)備。
WT-2000MCT 專為不同樣品溫度下的 µ-PCD 壽命測量而設(shè)計。
除了硅,SEMILAB 還經(jīng)營使用短波長激發(fā)激光的寬禁帶半導(dǎo)體(SiC、GaN)的壽命測量設(shè)備。
FAaST 310/210 SPV 裝置在適合研發(fā)和小批量制造環(huán)境的設(shè)計中提供快速、全晶圓污染成像。
FAaST 330/230 DSPV 裝置可對重金屬污染進行非接觸式高速在線監(jiān)測??梢赃M行晶圓處理。
FAaST 350 DSPV 裝置是重金屬污染非接觸式高速監(jiān)測旗艦平臺。能夠檢測低于 10 8 個原子/ cm -3的鐵并從雙 FOUP 裝載端口裝載站自動處理晶圓,它能夠支持苛刻的大批量生產(chǎn)環(huán)境。
WT-2000 是中型制造工廠和實驗室的推薦裝置。