非接觸式檢測SEMILAB晶體缺陷檢測裝置LST
晶體缺陷檢測裝置LST系列LST-2100, LST-2500,非接觸式晶體缺陷檢測裝置SIRM系列SIRM-2100,SIRM-2500,SIRM-3000,壓力測量儀PSI系列PSI-2100,PSI-2500,PSI-3000
非接觸式檢測SEMILAB晶體缺陷檢測裝置LST
非接觸式檢測SEMILAB晶體缺陷檢測裝置LST
晶體缺陷檢測裝置LST系列LST-2100, LST-2500,非接觸式晶體缺陷檢測裝置SIRM系列SIRM-2100,SIRM-2500,SIRM-3000,壓力測量儀PSI系列PSI-2100,PSI-2500,PSI-3000,錯位缺陷可視化裝置EnVision,DL S低溫恒溫器
產(chǎn)品介紹
LST 系列是一款功能強大的微晶缺陷分析儀。BMD 散射入射光，該光由樣品切割邊緣附近的 CCD 相機記錄。
SIRM 體微缺陷分析儀是一種非接觸式、無損光學儀器，用于完整的體微缺陷 (BMD) 表征（體和半導體晶圓表面附近的氧和金屬沉淀物、空隙、堆垛層錯、滑移線、位錯、等）是可能的。
PSI 產(chǎn)品系列專為檢查和可視化晶體缺陷而開發(fā)，例如與具有大產(chǎn)能的自動化制造工廠的 Si 晶圓/小片中的機械應力（應力）相關(guān)的孿晶缺陷。。用于半導體晶圓的應力測量。
晶體缺陷可視化裝置 EnVision 是一種非破壞性、非接觸式半導體檢測裝置，可以在 15 nm 級別可視化位錯缺陷。錯位缺陷的可視化使得過去依賴于工藝工程師的經(jīng)驗和直覺的工藝工作的定量優(yōu)化成為可能。對于驗證在表面附近無法確認的深度方向的應力誘發(fā)位錯缺陷非常有效。
DLS 低溫恒溫器：Semilab 提供以下用于 DLS 儀器的低溫恒溫器。
浴式低溫恒溫器：80K 至 450K – 加熱由計算機控制 – 控制器內(nèi)置于 DLS-1000 中。對流式（在 LN2 氣氛中）。
自動 LN2 低溫恒溫器 80K-550K（可選高達 800K）。樣品在真空室中——需要計算機控制加熱和冷卻（通過沸騰的液氮）。需要控制器——內(nèi)置 DOS PC 和低溫恒溫器控制器。
自動氦氣（閉路循環(huán)）真空低溫恒溫器：30K 至 325K – 由 DLS 控制軟件控制。
真空低溫恒溫器需要真空泵（可選）。
