FT1230深能級瞬態(tài)譜儀是分析測試半導(dǎo)體材料和器件的摻雜濃度、缺陷能級位、界面態(tài)(俘獲界面)等半導(dǎo)體性質(zhì)的重要測試儀器。
Phystech FT1230 HERA-DLTS
High Energy Resolution Analysis Deep Level Transient Spectroscopy
PhysTech FT1230 HERA-DLTS
高能分辨率深能級瞬態(tài)譜
PhysTech在1990年推出了臺數(shù)字DLTS，隨著電腦技術(shù)的發(fā)展，使得在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行復(fù)雜計(jì)算成為可能。在純指數(shù)發(fā)射過程模型的基礎(chǔ)上，用各種數(shù)學(xué)模型分析測量到的瞬態(tài)過程，如傅里葉轉(zhuǎn)換、拉普拉斯轉(zhuǎn)換、多指數(shù)瞬態(tài)擬合、ITS（等溫瞬態(tài)光譜）信號重疊法、溫度掃描信號重疊法（重折疊）。與其他系統(tǒng)相比，HERA-DLTS具有的能量分辨率。
特 點(diǎn)：
自動(dòng)接觸檢查
常規(guī)測試和加強(qiáng)軟件
自動(dòng)電容補(bǔ)償
三終端FET電流瞬態(tài)測量
大電容和濃度范圍
靈活性高、模塊化硬件
支持各種冷卻倉和溫度控制器
傅里葉轉(zhuǎn)換（F-DLTS），比例窗口和用戶自定義校正功能
DLTFS（深層瞬態(tài)傅里葉光譜儀）評價(jià)
操作模式：
C-DLTS
CC-DLTS
I-DLTS
DD-DLTS
Zerbst-DLTS
O-DLTS
FET-Analysis
MOS-Analysis
ITS（等溫瞬態(tài)譜）
缺陷分析
俘獲截面測量
I/V, I/V(T)
C/V, C/V(T)
TSC/TSCAP
PITS（光子誘導(dǎo)瞬態(tài)譜）
DLOS(特殊系統(tǒng)) Fourier 變換, Laplace 變換，指數(shù)擬合分析，ITS (等溫瞬態(tài)譜)，信號重褶皺，溫度掃描信號重褶皺.
