美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 75 技術(shù)參數(shù):
伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 75技術(shù)參數(shù):
離子源型號 | 離子源 KDC 75 |
Discharge | DC 熱離子 |
離子束流 | >250 mA |
離子動能 | 100-1200 V |
柵極直徑 | 7.5 cm Φ |
離子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 2-15 sccm |
通氣 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型壓力 | < 0.5m Torr |
長度 | 20.1 cm |
直徑 | 14 cm |
中和器 | 燈絲 |
* 可選: 一個陰極燈絲; 可調(diào)角度的支架