IMP離子蝕刻探針（Ion Milling Probe），自帶差式泵，堅(jiān)固的二次離子質(zhì)譜儀，適于分析離子蝕刻過(guò)程中的二次離子和中性粒子。的專業(yè)終點(diǎn)檢測(cè)（End Point Detection）儀器，用于離子蝕刻控制以及過(guò)程優(yōu)化監(jiān)測(cè)。
·差式泵歧管，經(jīng)連接法蘭，接到過(guò)程室
·離子光學(xué)器件，帶能量分析器和內(nèi)置離子源
·Penning規(guī)和互鎖裝置，以提供過(guò)壓保護(hù)
·數(shù)據(jù)系統(tǒng)與過(guò)程控制工具整合
·高靈敏度的 SIMS / MS，帶脈沖離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器
·三級(jí)過(guò)濾四極桿，標(biāo)準(zhǔn)配置質(zhì)量數(shù)為300amu
·穩(wěn)定性(24h以上，峰高變化小于 ±0.5%)
·通過(guò) RS232、RS485或以太網(wǎng)， 軟件MASsoft控制
·程控DDE, 平行數(shù)字式I/O，RS232通訊
IMP Series End Point Detectors (903 KB)
Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB)
IBM Almaden Research Center | Advanced Instrumentation
Nanodevice Fabrication : Ion Beam Nano-Fabrication
