CD1000 Nanofics低壓等離子表面處理設(shè)備 技術(shù)參數(shù):
反應(yīng)艙 | 材料:鋁 |
真空度測(cè)量 | 皮拉尼真空計(jì) |
真空泵 | 干式真空泵泵組 |
頻射發(fā)生器 | 根據(jù)客戶應(yīng)用需求定制 |
控制系統(tǒng) | PLC可實(shí)現(xiàn)下列功能:
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電源 | 380V AC, 三相,50Hz, 40A |
反應(yīng)氣體 | 一個(gè)氣體輸入端口,含氣體流量控制器(MFC) |
氣體輸入 | 直徑1/4英寸(6.45mm) 管道;輸入壓力:1Bar |
尾氣排放 | 直徑28mm 輸出端口 |
性能 | 急停開關(guān);真空泵保護(hù)鎖;高溫保護(hù)鎖;CE認(rèn)證。 |