Filmetrics F60-t 系列主要用于生產(chǎn)環(huán)境下的薄膜厚度自動(dòng)測(cè)繪,像F50產(chǎn)品一樣自動(dòng)測(cè)繪薄膜厚度和折射率,但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能,包括凹槽自動(dòng)檢測(cè)、自動(dòng)基準(zhǔn)確定、全封閉測(cè)量平臺(tái)、預(yù)裝軟件的工業(yè)計(jì)算機(jī),還有可以升級(jí)到全自動(dòng)晶圓傳輸?shù)臋C(jī)型。不同的 F60-t 儀器根據(jù)波長(zhǎng)范圍加以區(qū)分。 較短的波長(zhǎng) (例如F60-t-UV) 一般用于測(cè)量較薄的薄膜,而較長(zhǎng)的波長(zhǎng)則用來(lái)測(cè)量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。