F50 系列自動(dòng)膜厚測(cè)量系統(tǒng)能以每秒測(cè)繪兩個(gè)點(diǎn)的速度快速測(cè)繪薄膜厚度,一個(gè)電動(dòng)R-Theta 平臺(tái)可接受標(biāo)準(zhǔn)和定制化夾具,樣品直徑可達(dá)450毫米。測(cè)繪圖案可采用極坐標(biāo)、矩形或線性方式,您也可以創(chuàng)造自己的測(cè)繪方法,并且不受測(cè)量點(diǎn)數(shù)量的限制,F(xiàn)50軟件中內(nèi)建數(shù)十種預(yù)定義的測(cè)繪圖案。
不同的 F50 儀器是根據(jù)波長(zhǎng)范圍來(lái)加以區(qū)分的, 標(biāo)準(zhǔn)的 F50是的產(chǎn)品, 一般較短的波長(zhǎng) (例如, F50-UV) 用于測(cè)量較薄的薄膜,而較長(zhǎng)的波長(zhǎng)則用來(lái)測(cè)量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。