白光光譜干涉測量原理
STIL干涉位移傳感器計算基于白光干涉光譜分析（SAWLI）原理，它通過分析由分光儀獲得的干涉波形來測量參照板與標的物之間的空氣層間隙。其*性在于將參照版與標的物固定為一個整體，因為參照板和標的物是一個整體，當測量設(shè)備有震動的時候，這個整體的兩個部分的距離不會發(fā)生任何變化，從而達到有效防止機構(gòu)震動對測量結(jié)果的影像。
此干涉信號是一個通道截止光譜，通過采用七步相移算法對干涉光譜進行計算，使傳感器獲得亞納米的測量分辨率。
控制器技術(shù)規(guī)格
| 測量頻率 | 2000HZ |
| 波長范圍 | 400-900nm |
| 光譜分辨率 | 0.63nm/pixel |
| 光源 | 鹵素燈 |
| 信號輸出 | 網(wǎng)口/RS232 |
| 外部觸發(fā)I/O | 1input(TTL)/1 output(TTL) |
| 光纖線 | E2000(標準或鎧甲） |
| 相對濕度 | 5%-80% HR無冷凝 |
| 工作溫度 | 5-50℃ |
| 外觀尺寸 | 376mm*363mm*114mm |
| 重量 | 6KG |
| 測量模式： 距離/厚度 | 1、光譜共焦測量 2、光譜干涉測量 |
測量頭技術(shù)參數(shù)
| OPILB Line | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型號 | OPILB-RP | OPILB-LWD-D | OPILB-LWD-T | OPILB | ||||
| 測量模式 | 位移 | 位移 | 厚度 | 厚度 | ||||
| 量程（μm） | 135 | 135 | - | - | ||||
| 工作距離（mm） | 9.7 | 4.6 | 9.2 | 42 | ||||
| 可測傾角（°） | ±17 | ±17 | ±17 | ±5.4 | ||||
| 參考板(1) | Yes | No | No | No | ||||
| 放大器型號 | MG210 | MG140 | MG210 | MG140 | MG70 | MG35 | MG20 | - |
| 光斑尺寸（μm）(3) | 3.8 | 5.7 | 3.8 | 5.7 | 11.4 | 22.9 | 40.2 | 32 |
| 橫向分辨率（μm）(2) | 1.9 | 2.8 | 1.9 | 2.8 | 5.7 | 11.4 | 20 | 20 |
| 外形尺寸 | ||||||||
| 長(mm)(4) | 200 | 164 | 200 | 164 | 131 | 100 | 84 | 145.5 |
| 直徑(mm)(4) | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 |
| 重量(g) | 200 | 127 | 200 | 127 | 126 | 67 | 52 | 155 |
| 性能參數(shù) | ||||||||
| 位移模式 | ||||||||
| 靜態(tài)噪音(nm)(5) | 0.5 | 2 | - | - | ||||
| 精度（nm）（6） | 10 | 10 | ||||||
| 粗糙度測量(7) | NR | NR | ||||||
| 厚度模式 | ||||||||
| 最小可測厚度（μm）(8) | - | - | - | - | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 |
| 可測厚度（μm(8)） | - | - | - | - | 90 | 90 | 90 | 90 |
| 靜態(tài)噪音(nm)(5) | - | - | - | - | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 |
| 精度（nm）（6 | - | - | - | - | 10 | 10 | 10 | 10 |
(1)參考板直接放在樣品上。OPILB-RP的參考板作為參考。它彌補了掃描系統(tǒng)的機械缺陷
(2)橫向分辨率定義為光斑直徑的一半
(3)在量程中心位置測量的光斑尺寸，無衍射(參考值)
(4)長度和重量不包含光纖線
(5)在靜態(tài)樣本上測量的RMS噪聲水平。在位置的樣品上，以速采樣頻率進行測定
(6)精度是在整個測量范圍內(nèi)觀察到的誤差，是通過和1nm精度的編碼器比較校準
(7)R=推薦用于測量金屬樣品(這些樣品可以用完整的性能進行測量);NR=不建議測量金屬樣品(這些樣品可以測量，但性能降低)
(8)在的速度下，測量范圍的中心，測量的典型值，不加平均。折射率=1.5個樣本（測量空氣間隙應(yīng)除以1 5的厚度時）；
注：以上參數(shù)如有變化，恕不另行通知。
測量應(yīng)用案例
采用光譜干涉?zhèn)鞲衅魑灰颇Ｊ綔y量
采用光譜干涉?zhèn)鞲衅骱穸饶Ｊ綔y量
