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活化:工藝部件表面通過氧氣或空氣處理后,會(huì)在表面形成氧原子團(tuán),這樣能使部件表面親水性和表面張力提高,能使涂料和粘接劑更好的附著于上,提高其的粘合力和附著力。
如:PDMS鍵合,粘接前的預(yù)處理,涂裝前的預(yù)處理,印刷前的預(yù)處理。
蝕刻:工藝部件表面通過特定氣體達(dá)到精確濺射,表面材料被剝離,轉(zhuǎn)變成氣相被排出,濺射后的材料表面積增大并更易濕潤,也使材料表面更粗糙化。通過改變工藝參數(shù)可使材料表面蝕刻出一定的形狀。如:硅蝕刻,PTFE/PFA/FEP蝕刻,光刻膠去除。
涂層:使工藝部件表面發(fā)生等離子聚合反應(yīng),前驅(qū)單體導(dǎo)入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面,隨即發(fā)生聚合反應(yīng),形成聚合物層。如:疏水層,親水層,保護(hù)/阻隔層,干潤滑層,疏油層。
• 去除硅氧樹脂
• 綁定、焊接、粘結(jié)前的預(yù)處理
• 金屬部件涂裝前的預(yù)處理
• 鍵合
• 石墨烯、煤樣灰化
主要技術(shù)參數(shù) | 1. 便捷的FULL PC觸摸屏控制系統(tǒng) 2. 根據(jù)工藝要求不同,可設(shè)定功率、壓強(qiáng)、氣體流量與時(shí)間等參數(shù) 3. 雙路工作氣體,氣體流量通過數(shù)字式流量計(jì)(MFC)控制 4. *反應(yīng)艙為不銹鋼制,L400xD625xH600mm ,容積為150L 5. 反應(yīng)艙門鋁制,帶有玻璃觀察窗 6. 樣品托盤:十層,W340*D580mm/層 7. 配有Pirani壓力計(jì),實(shí)時(shí)數(shù)字顯示反應(yīng)艙的壓力值 8. 高周波電流頻率13.56MHz功率0~600W (或者0~1000W) 9. 反射波自動(dòng)調(diào)節(jié),無須手工調(diào)節(jié) 10. 電極材質(zhì)為鋁/不銹鋼 11. 真空泵為Leybold D65B LVO 100,排氣速度65m3/hour,配有氧氣強(qiáng)制進(jìn)氣閥 12. 配有壓力傳感器,可根據(jù)工藝要求設(shè)定壓力值 13. 600mm(L)*800mm(D)*1700mm(H)(含電源線突出部分) 14. 電源電壓:三項(xiàng)AC400V 32A |