*合規(guī)：即也適用于復(fù)雜的基材輪廓，例如鋒利的邊緣、鉆孔或盲孔從層厚度約為 0.5 µm 時起就已經(jīng)無針孔 (“pinhole-free”)。化學(xué)不可溶并且耐抗諸多化學(xué)物質(zhì)。 對濕氣和化學(xué)物質(zhì)具有非常好的阻隔特性。 具有較高的介電擊穿強度。 具有干潤滑特性（較低的 摩擦系數(shù)）。 具有疏水性：H2O 的接觸角介于 92 ° 和 98 ° 之間。 在可見波長范圍內(nèi)（取決于類型）的 90％ 到 96％ 之間是透明的。 具有生物相容性：可以沉積 C 和 N 型聚對二甲苯，可以根據(jù) USP Class VI、 ISO 10993 和 FDA 進(jìn)行認(rèn)證。
Parylene類型：
1. 電子/傳感器技術(shù)
• 暴露在腐蝕性介質(zhì),濕度大或高輻射環(huán)境中的電子元器件。
• 安全要求較高的高質(zhì)量裝置
• 延長LED,傳感器等重要電子器件的使用壽命
2. 醫(yī)療
• Parylene抵抗所有的體液的侵蝕-植入體
• 較低限度的磨損（優(yōu)于聚四氟乙烯），具有優(yōu)良的滑動性，易于插入支架、手術(shù)針和*
• 美國FDA認(rèn)證可直接接觸食品
• 符合ISO 10993認(rèn)證,科研的生物學(xué)特性和生物相容性
3. 航空航天
• 系統(tǒng)故障可能導(dǎo)致人員物資的損失，因而，必須努力為重要的部分采取盡可能的保護(hù)
• 符合航空及軍事標(biāo)準(zhǔn)（US MIL-I-46058C, UL listed, NBC AR 70/ AFR 80-38/ Navinst 3400.2）即使在其他領(lǐng)域也能提供高應(yīng)力和安全性。
• 聚對二甲苯HT能以低漆膜厚度抵抗高能量輻射（重量體積比要求低）
4. 工業(yè)、設(shè)備
• 墊圈（o型環(huán)）的涂層能便于裝配（低摩擦系數(shù)），或提高壽命
• 光學(xué)元件的保護(hù)性和自潔式涂層
• 彈性體通常對臭氧、碳?xì)浠衔铩⒆贤饩€很敏感。聚對二甲苯能提供長期保護(hù)。
• 容器、藥水瓶、電子管的屏蔽涂料
| 主要技術(shù)參數(shù) | 1. 控制系統(tǒng): Windows Full PC控制系統(tǒng) 2.涂層厚度: 0.05 ~100 um 3.外形尺寸：W2700*D2600*1600mm: 4.裂解管功率及溫度: 4 kW / max. 850 °C 5.樣品艙：Φ700mm*H720mm 6.樣品臺：Φ600mm*H660mm 7.冷卻方式：液氮 8.真空泵系統(tǒng)：Leybold D60雙級油泵排氣速度63m3/h極限真空度0.5Pa |
- 選配：
涂層材料;Parylene N/Parylene C/Parylene D/Parylene F-VT4
冷卻：冷阱
耦合劑CVD
