*合規(guī)：即也適用于復雜的基材輪廓，例如鋒利的邊緣、鉆孔或盲孔從層厚度約為 0.5 µm 時起就已經(jīng)無針孔 (“pinhole-free”)?；瘜W不可溶并且耐抗諸多化學物質(zhì)。 對濕氣和化學物質(zhì)具有非常好的阻隔特性。 具有較高的介電擊穿強度。 具有干潤滑特性（較低的 摩擦系數(shù)）。 具有疏水性：H2O 的接觸角介于 92 ° 和 98 ° 之間。 在可見波長范圍內(nèi)（取決于類型）的 90％ 到 96％ 之間是透明的。 具有生物相容性：可以沉積 C 和 N 型聚對二甲苯，可以根據(jù) USP Class VI、 ISO 10993 和 FDA 進行認證。
不同類型的Parylene及其特點：
Parylene N 基本模型，僅由氫、碳原子組成。非凡的裂隙、孔洞滲透力。良好的介電特性和介電強度，因而更適于電子元件和組件的鍍層。摩擦系數(shù)低，在支架的應用廣受歡迎。符合FDA標準 Parylene C 使用較多的產(chǎn)品，具有出色的防護性能。良好的斥水性使其具高防潮性能。高彈性，因而適于塑料和橡膠制品。低摩擦系數(shù)。高沉積速率（高達10 microns/h）。符合FDA標準 Parylene D 溫度穩(wěn)定性有所提高，壽命更長。但同時也具備斥水性。用于航天業(yè)中電子元件的保護。 Parylene F-VT4 由于其溫度荷載能力甚至強于Parylene D，因而正在逐漸取代D。價格比Parylene HT更低廉。 Parylen F-AF4 目前所有類型中溫度穩(wěn)定性較高的。而且，這種類型對于高輻射照射非常不敏感，尤其是紫外線。這種昂貴，因而只在要求一些特殊性能時才會用到。
1. 電子/傳感器技術
• 暴露在腐蝕性介質(zhì),濕度大或高輻射環(huán)境中的電子元器件。
• 安全要求較高的高質(zhì)量裝置
• 延長LED,傳感器等重要電子器件的使用壽命
2. 醫(yī)療
• Parylene抵抗所有的體液的侵蝕-植入體
• 較低限度的磨損（優(yōu)于聚四氟乙烯），具有優(yōu)良的滑動性，易于插入支架、手術針和*
• 美國FDA認證可直接接觸食品
• 符合ISO 10993認證,科研的生物學特性和生物相容性
3. 航空航天
• 系統(tǒng)故障可能導致人員物資的損失，因而，必須努力為重要的部分采取盡可能的保護
• 符合航空及軍事標準（US MIL-I-46058C, UL listed, NBC AR 70/ AFR 80-38/ Navinst 3400.2）即使在其他領域也能提供高應力和安全性。
• 聚對二甲苯HT能以低漆膜厚度抵抗高能量輻射（重量體積比要求低）
4. 工業(yè)、設備
• 墊圈（o型環(huán)）的涂層能便于裝配（低摩擦系數(shù)），或提高壽命
• 光學元件的保護性和自潔式涂層
• 彈性體通常對臭氧、碳氫化合物、紫外線很敏感。聚對二甲苯能提供長期保護。
• 容器、藥水瓶、電子管的屏蔽涂料
| 主要技術參數(shù) | 1. PC全自動控制系統(tǒng)Windows Full PC 2. 涂層厚度: 0.05 ~ 100 um 3. 裂解管功率及溫度: 4 kW / max. 850 °C 4. 樣品艙:Φ640*H800mm 5. 樣品臺:Φ560*H650mm 6. 壓力：1 x 10-3 mbar 7. 冷卻方式：液氮 8. 真空泵系統(tǒng)：Leybold D60雙級油泵排氣速度63m3/h極限真空度0.5Pa 控制: 9. 壓縮空氣：6 bar 不含油且干燥 10. 外形尺寸：W2600*D1000*2000mm 11. 電源：3 相位/400 V/32 A/50-60 Hz |
選配：涂層材料;Parylene N/Parylene C/Parylene D/Parylene F-VT4
冷卻方式：冷阱
耦合劑CVD
等離子預處理模塊：80kHz 0~5kW
