產(chǎn)品信息
特 長
薄膜到厚膜的測量范圍、UV~NIR光譜分析
高性能的低價光學(xué)薄膜量測儀
藉由反射率光譜分析膜厚
完整繼承FE-3000機種90%的強大功能
無復(fù)雜設(shè)定，操作簡單，短時間內(nèi)即可上手
線性最小平方法解析光學(xué)常數(shù)（n:折射率、k:消光系數(shù)）
測量項目
反射率測量
膜厚解析（10層）
光學(xué)常數(shù)解析（n：折射率、k：消光系數(shù)）
產(chǎn)品規(guī)格
樣品尺寸 | 8寸晶圓（厚度5mm） | |||
|---|---|---|---|---|
測量時間 | 0.1s ~ 10s以內(nèi) | |||
量測口徑 | 約φ3mm | |||
通訊界面 | USB | |||
尺寸重量 | 280（W）× 570（D）×350（H）mm，約24kg | |||
軟體功能 | ||||
標準功能 | 波峰波谷解析、FFT解析、化法解析、最小二乘法解析 | |||
選配功能 | 材料分析軟件、薄膜模型解析、標準片解析 | |||
※1 請于本公公司聯(lián)系聯(lián)系我們
※2 對比VLSI標準樣品（100nm SiO2/Si），范圍值同保證書所記載
※3 測量VLSI標準樣品（100nm SiO2/Si）同一點位時之重復(fù)再現(xiàn)性。（擴充系數(shù)2.1）
應(yīng)用范圍
半導(dǎo)體晶圓膜（光阻、SOI、SiO2等）
光學(xué)薄膜（OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等）
測量范例
PET基板上的DLC膜
Si基板上的SiNx
