產(chǎn)品信息
特 點
•采用分光干涉法
•搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)( 第4834847號)
•使用光學光纖,可靈活構筑測量系統(tǒng)
•可嵌入至各種制造設備。
•實時測量膜厚
•可對應遠程操作、多點測量
•采用壽命長、安全性高的白色LED光源
測量項目
·多層膜厚解析
用 途
•光學薄膜(超硬涂層、AR薄膜、ITO等)
•FPD相關(光刻膠、SOI、SiO2等)
設備構成
單點型
•半導體晶圓的面內(nèi)分布測量
•玻璃基板的面內(nèi)分布測量
多點型
•實時測量
•流向品質(zhì)管理
•真空室適用
導線型
•實時測量
•寬度方向品質(zhì)管理
測量案例
超硬涂層的膜厚解析