產(chǎn)品信息
特 點(diǎn)
•采用分光干涉法
•搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)( 第4834847號(hào))
•使用光學(xué)光纖,可靈活構(gòu)筑測(cè)量系統(tǒng)
•可嵌入至各種制造設(shè)備。
•實(shí)時(shí)測(cè)量膜厚
•可對(duì)應(yīng)遠(yuǎn)程操作、多點(diǎn)測(cè)量
•采用壽命長、安全性高的白色LED光源
測(cè)量項(xiàng)目
·多層膜厚解析
用 途
•光學(xué)薄膜(超硬涂層、AR薄膜、ITO等)
•FPD相關(guān)(光刻膠、SOI、SiO2等)
設(shè)備構(gòu)成
單點(diǎn)型
•半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測(cè)量
•玻璃基板的面內(nèi)分布測(cè)量
多點(diǎn)型
•實(shí)時(shí)測(cè)量
•流向品質(zhì)管理
•真空室適用
導(dǎo)線型
•實(shí)時(shí)測(cè)量
•寬度方向品質(zhì)管理
測(cè)量案例
超硬涂層的膜厚解析