分光干涉式晶圓膜厚儀 SF-3-儀表網(wǎng)

公司介紹主營產(chǎn)品

大塚電子（蘇州）有限公司主要銷售用于光學(xué)特性評價?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產(chǎn)業(yè)以及液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器等平板顯示產(chǎn)業(yè)以及其相關(guān)材料的光學(xué)特性評價?檢查。

　　以高速?高精度?高可靠性且有市場實(shí)際應(yīng)用的分光器MCPD系列為基礎(chǔ)，在中國的顯示器市場上有著20年以上銷售實(shí)例，為許多廠家在研究開發(fā)、生產(chǎn)部門所使用。并且在光源?照明相關(guān)方面，對各個廠家的銷售量在逐步擴(kuò)大。

　　在中國的蘇州有設(shè)立售后服務(wù)點(diǎn)，為了能迅速且周到的為顧客服務(wù)而努力。

　　我公司的母公司日本大塚電子集團(tuán)，隸屬于大冢集團(tuán)，一直以來都謹(jǐn)守大冢集團(tuán) 的企業(yè)理念「Otsuka-people creating new products for better health world wide」(大冢為人類的健康創(chuàng)造革新的產(chǎn)品)，為社會作出貢獻(xiàn)。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

即時檢測 WAFER基板于研磨制程中的膜厚玻璃基板于減薄制程中的厚度變化 (強(qiáng)酸環(huán)境中) 產(chǎn)品特色非接觸式、非破壞性光學(xué)式膜厚檢測采用分光干涉法實(shí)現(xiàn)高度檢測再現(xiàn)性可進(jìn)行高速...

分光干涉式晶圓膜厚儀 SF-3 產(chǎn)品詳情

即時檢測
WAFER基板于研磨制程中的膜厚
玻璃基板于減薄制程中的厚度變化
(強(qiáng)酸環(huán)境中)

產(chǎn)品特色

非接觸式、非破壞性光學(xué)式膜厚檢測
采用分光干涉法實(shí)現(xiàn)高度檢測再現(xiàn)性
可進(jìn)行高速的即時研磨檢測
可穿越保護(hù)膜、觀景窗等中間層的檢測
可對應(yīng)長工作距離、且容易安裝于產(chǎn)線或者設(shè)備中
體積小、省空間、設(shè)備安裝簡易
可對應(yīng)線上檢測的外部信號觸發(fā)需求
采用膜厚檢測的獨(dú)自解析演算法。(已取得)
可自動進(jìn)行膜厚分布制圖(選配項(xiàng)目)

規(guī)格式樣

	SF-3
膜厚測量范圍	0.1 μm ~ 1600 μm※1
膜厚精度	±0.1% 以下
重復(fù)精度	0.001% 以下
測量時間	10msec 以下
測量光源	半導(dǎo)體光源
測量口徑	Φ27μm※2
WD	3 mm ~ 200 mm
測量時間	10msec 以下

※1 隨光譜儀種類不同,厚度測量范圍不同
※2 最小Φ6μm

關(guān)鍵詞：光譜儀

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
0.05ppm機(jī)床激光干涉儀	￥280000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2025-01-07	在線詢價
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激光干涉儀測量雙直線導(dǎo)軌安裝平行度	￥280000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2024-12-13	在線詢價
激光干涉位移測量儀	￥280000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2024-12-03	在線詢價
導(dǎo)軌誤差激光干涉測量儀	￥280000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2024-11-21	在線詢價
高精度環(huán)境補(bǔ)償激光干涉儀	￥280000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2024-11-11	在線詢價

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