二手八寸晶圓切割機(jī)轉(zhuǎn)讓
Dicing saw是切割機(jī)為使用切割刀片針對(duì)玻璃、陶瓷等被加工物進(jìn)行高精度切割的裝置。
全自動(dòng)切割機(jī)是從裝片、位置校正、切割、清洗/干燥、到卸片為止的一系列工序,皆可全部實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作。
半自動(dòng)切割機(jī)是被加工物的安裝及卸載作用均采用手動(dòng)方式進(jìn)行、只有加工工序?qū)嵤┳詣?dòng)化操作。
晶圓切割的目的,主要是要將晶圓上的每一顆晶粒( Die )加以切割分離。首先要將晶圓(Wafer)的背面貼上一層膠帶(WaferMount),之后再將其送至晶圓切割機(jī)加以切割。切割完后,一顆顆的晶粒會(huì)井然有序的排列黏貼在膠帶上,同時(shí)由于框架的支撐可避免晶粒因膠帶皺褶而產(chǎn)生碰撞,而有利于搬運(yùn)過(guò)程。
晶片切割機(jī)是非常精密之設(shè)備,其主軸轉(zhuǎn)速約在30,000至60,000rpm之間,由于晶粒與晶粒之間間距很小而且晶粒又相當(dāng)脆弱,因此精度要求相當(dāng)高,且必須使用磨石刀刃來(lái)進(jìn)行切割,而且其切割方式至統(tǒng)磨削的方式把晶粒分開(kāi)。由于系統(tǒng)用磨削的方式進(jìn)行切割,會(huì)產(chǎn)生很多的小粉屑,因此在切割過(guò)程中必須不斷地用凈水沖洗,以避免污染到晶粒。除上述幾點(diǎn)外,在整個(gè)切割過(guò)程中尚須注意之事項(xiàng)頗多,例如晶粒需*分割但不能割破承載之膠帶,切割時(shí)必須沿著晶粒與晶粒間之切割線不能偏離及蛇行,切割過(guò)后不能造成晶粒之崩塌或裂痕等等。為解決上述諸多問(wèn)題,各種自動(dòng)偵測(cè)、自動(dòng)調(diào)整及自動(dòng)清洗的設(shè)備都會(huì)應(yīng)用到機(jī)器上以減少切割時(shí)產(chǎn)生錯(cuò)誤而造成之損失。
加工范圍(Max Working Area)160mm*160mm
解析能力(Resolution) Y軸0.0002mm Z軸 0.0001mm
大*尺寸(Max Blade φD) 76.2mm
X軸行程(X-axis Travel Stroke) 192mm
Y軸行程(Y-axis Travel Stroke) 162mm
Z軸行程(Z-axis Travel Stroke) 30.6mm
移動(dòng)速度(Feed Speed) 0.1-300mm/sec(Max)
二手八寸晶圓切割機(jī)轉(zhuǎn)讓