二手美國ZYGO 平面激光干涉儀
美國ZYGO激光干涉儀
菲索型激光干涉儀,具有環(huán)形光源偽跡消除抑制技術,是一種高 精度、共光路面形計量干涉儀。ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire?激光干涉儀,繼承了工業(yè)標準GPI?激光干涉儀系列的所有優(yōu)點,融合了機械相移技術、革命性的數據采集技術、高性能的光電成像系統、振動補償軟件、非球面測量技術和波紋抑制技術等,是ZYGO技術的集中體現。 Zygo較新推出用于在震動環(huán)境下測量的DynaFiz干涉儀。
系統:
測量功能:精密測量各種反射面和光學系統的表面面形、精密測量光學系統的傳輸波前
測量技術:機械相移干涉測量(PSI)
校準系統 :快速條紋采樣系統(QFAS) (雙光點定位于十字線)
測量光束直徑 :4″(102mm)或6″(152mm)
對準視場范圍FOV :4″:±3°;6″:±2°;
光學中心線 :4.25″(108mm)
激光光源:大功率穩(wěn)頻氦-氖激光,IIIa 級
波長: 633 nm
頻率穩(wěn)定度: < 0.0001 nm
相干長度 :>100m
成像分辨率 :1000 x 1000 像素
幀速 :43Hz
數據采集時間 :302ms
數據模式: 8位
放大 :電控數顯放大1-5X
二手美國ZYGO 平面激光干涉儀