二手美國ZYGO 平面激光干涉儀
美國ZYGO激光干涉儀
菲索型激光干涉儀,具有環(huán)形光源偽跡消除抑制技術(shù),是一種高 精度、共光路面形計(jì)量干涉儀。ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire?激光干涉儀,繼承了工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)GPI?激光干涉儀系列的所有優(yōu)點(diǎn),融合了機(jī)械相移技術(shù)、革命性的數(shù)據(jù)采集技術(shù)、高性能的光電成像系統(tǒng)、振動(dòng)補(bǔ)償軟件、非球面測(cè)量技術(shù)和波紋抑制技術(shù)等,是ZYGO技術(shù)的集中體現(xiàn)。 Zygo較新推出用于在震動(dòng)環(huán)境下測(cè)量的DynaFiz干涉儀。
系統(tǒng):
測(cè)量功能:精密測(cè)量各種反射面和光學(xué)系統(tǒng)的表面面形、精密測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)的傳輸波前
測(cè)量技術(shù):機(jī)械相移干涉測(cè)量(PSI)
校準(zhǔn)系統(tǒng) :快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點(diǎn)定位于十字線)
測(cè)量光束直徑 :4″(102mm)或6″(152mm)
對(duì)準(zhǔn)視場(chǎng)范圍FOV :4″:±3°;6″:±2°;
光學(xué)中心線 :4.25″(108mm)
激光光源:大功率穩(wěn)頻氦-氖激光,IIIa 級(jí)
波長(zhǎng): 633 nm
頻率穩(wěn)定度: < 0.0001 nm
相干長(zhǎng)度 :>100m
成像分辨率 :1000 x 1000 像素
幀速 :43Hz
數(shù)據(jù)采集時(shí)間 :302ms
數(shù)據(jù)模式: 8位
放大 :電控?cái)?shù)顯放大1-5X
二手美國ZYGO 平面激光干涉儀