Turbo-V 2K-G 不僅僅是一臺(tái)泵。它是專門為等離子濺射工藝精心設(shè)計(jì)的分子泵系統(tǒng)。其葉片級(jí)數(shù)和泵的整體結(jié)構(gòu)均經(jīng)過(guò)優(yōu)化,可以工作在高氬氣氛圍下和溫度*的環(huán)境中。此外,它還擁有內(nèi)置的控制器件、一體化的放空和充氮?dú)獗Wo(hù)閥以及免維護(hù)的軸承。所有這些特點(diǎn)使 Agilent Turbo-V 2K-G 成為鍍膜工業(yè)泵解決方案。
特性:
- 為薄膜沉積應(yīng)用而專門設(shè)計(jì)的分子泵解決方案
- 現(xiàn)有的性能、的儀器
- 將*集成的方法用于提高系統(tǒng)效率和正常運(yùn)行時(shí)間的裝置
- 將渦輪分子泵、驅(qū)動(dòng)器件、電源、MoniTorr、吹掃氣裝置和通信裝置集于一身
- 通用電子器件接口和使用簡(jiǎn)單的控制軟件模擬 I/O 信號(hào)和 RS232/RS485 接口為標(biāo)準(zhǔn)配置
- 安捷倫 Profibus 接口(可選)
- 采用安捷倫 T-Plus 軟件