安捷倫SH-110渦旋式干泵是業(yè)內(nèi)的干式密封渦旋泵,可以方便地組裝到原始設(shè)備制造商 (OEM) 系統(tǒng)中。這種單級(jí)泵體積小巧,抽速 110 升/分(頻率 60 Hz),極限壓力 50 mtorr (0.07 mbar),是許多終用戶應(yīng)用的理想選擇。
- 低溫運(yùn)行
- ?-馬力電機(jī),功耗低
- 內(nèi)置排氣閥,噪音水平低
- 活動(dòng)排氣口為空間有限場(chǎng)合提供更大靈活性
- 高壓下抽速高(110 升/分),可快速降壓
- 輕便,帶方便搬運(yùn)的手柄
- 內(nèi)置故障保險(xiǎn)隔離閥為真空系統(tǒng)提供保護(hù)
- 通用的 100-230 VAC 電源方便在*范圍內(nèi)安裝
技術(shù)指標(biāo)
峰值抽速 (60 Hz) | 110 L/m,6.6 m3/h,4.0 cfm |
峰值抽速 (50 Hz) | 90 L/m,5.4 m3/h,3.3 cfm |
極限真空 | 5.0 × 10-2 torr (6.6 × 10-2 mbar) |
大進(jìn)氣口壓力 | 1 atm (0 psig) |
大出氣口壓力 | 1.5 atm (7.5 psig) |
進(jìn)氣口連接 | NW25 KF 法蘭 |
排氣口連接 | 1?4 英寸內(nèi)螺紋 NPT |
排氣口連接轉(zhuǎn)接頭 | 提供 NW16 KF 適配器 |
氣鎮(zhèn)連接 | 1?8 英寸內(nèi)螺紋 NPT |
工作環(huán)境溫度 | 5 到 40 ℃(41 到 104 °F) |
儲(chǔ)存溫度 | -20 到 60 ℃(-4 到 140 °F) |
電動(dòng)機(jī)額定功率 | 0.25 馬力 (0.19 kW) |
電源 | 1 相,50-60 Hz |
電機(jī)過(guò)熱保護(hù) | 自動(dòng) |
轉(zhuǎn)速 | 60 Hz 時(shí) 1725 RPM |
冷卻 | 風(fēng)冷 |
重量 | 19.5 kg(43 磅) |
限制 | 無(wú)腐蝕性、無(wú)爆炸性、無(wú)顆粒氣體 |
漏率(排氣口密封) | <1 × 10-7 std-cc/s 氦氣 |
法規(guī)認(rèn)證 | 符合 CE、CSA 和 SEMI S2-2000 |
抽速圖
外形圖