特點
• 可容納樣品尺寸50×50×10mm,可獲得有效切割截面面積>4mm×1mm
• 三把離子槍,離子束能量1keV-10keV,切割速率150μm/h (Si@10kV, 50μm切割高度)
• 離子束處理過程中樣品位置固定,無需偏轉(zhuǎn)運動,無投影效應(yīng),熱傳導(dǎo)性好
• 可進行離子束切割或刻蝕,可選擇任意離子槍
• 真空泵解耦合設(shè)計,無震動傳導(dǎo)
• 觸摸屏操作面板,直觀、簡易操作,可編程可軟件升級
• 可選配:液氮制冷冷臺-150°至30°,25L液氮罐及自動泵,具有自動快速制冷功能
• 可選配:三樣品臺,可一次連續(xù)處理三個樣品
• 可選配:旋轉(zhuǎn)樣品臺,用于對樣品進行離子束拋光