國(guó)華電子真空等離子清洗機(jī)的常用氣路控制閥

真空等離子清洗機(jī)的氣路控制主要由工藝氣體控制和真空氣路控制兩大部分組成。工藝氣體控制部分常用控制閥有真空電磁閥、止逆閥（止回閥）、氣動(dòng)球閥。真空氣路控制部分常用控制閥有高真空氣動(dòng)擋板閥、手動(dòng)高真空角閥、電磁真空帶充氣閥。

1 工藝氣體控制常用控制閥
（1）真空電磁閥
真空等離子清洗機(jī)需保證真空腔體內(nèi)工作真空度在設(shè)計(jì)范圍內(nèi)，那么與真空腔體相連的閥門必須滿足高真空密封的要求，所以常規(guī)的工藝氣體控制都是選用真空電磁閥。因工藝氣體都是單路控制，所以選用的真空電磁閥為兩位兩通式。
（2）氣動(dòng)球閥
氣動(dòng)球閥具有高真空密封、耐腐蝕、口徑大等特點(diǎn)，所以當(dāng)真空等離子清洗需通入特殊單體時(shí)會(huì)被應(yīng)用于氣路控制中。根據(jù)實(shí)際使用需求選用兩通式或三通式。
（3）止逆閥
止逆閥又稱止回閥，在氣路控制中主要是防止氣體回流，起到保護(hù)氣路控制部分其他器件和防止相互反應(yīng)氣體匯合的作用。使用時(shí)需注意其標(biāo)注的氣流方向。下圖為典型的真空電磁閥與止逆閥配合使用圖示。
2 真空氣路控制常用控制閥
（1）高真空氣動(dòng)擋板閥（GDQ）
通常真空等離子清洗機(jī)在短時(shí)間待機(jī)狀態(tài)下會(huì)保持真空泵處于運(yùn)行狀態(tài)，高真空氣動(dòng)擋板閥用于接通或切斷真空管路中的氣流，以實(shí)現(xiàn)真空腔體抽真空的啟動(dòng)和關(guān)閉。
高真空氣動(dòng)擋板由壓縮空氣作為動(dòng)力，穩(wěn)定可靠，而且維護(hù)方便，在真空等離子清洗機(jī)中被廣泛應(yīng)用。
（2）電磁真空帶充氣閥（DDC）
電磁真空帶充氣閥用于真空泵隨運(yùn)行參數(shù)啟動(dòng)的真空等離子清洗機(jī)，屬于電磁閥類。當(dāng)真空泵運(yùn)行時(shí)電磁真空帶充氣閥打開(kāi)，真空泵關(guān)閉時(shí)閥門線圈斷電閥門靠機(jī)械力關(guān)閉，其主要作用是防止真空泵內(nèi)油氣因真空腔體內(nèi)負(fù)壓作用而被倒吸。
電磁真空帶充氣閥安裝簡(jiǎn)單，但穩(wěn)定性相對(duì)較差，長(zhǎng)時(shí)間使用，閥門磁力會(huì)衰退同時(shí)復(fù)位彈簧易反應(yīng)遲緩，目前大多被應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)型真空等離子清洗機(jī)。
3）手動(dòng)高真空角閥
真空等離子清洗機(jī)所用的手動(dòng)高真空角閥通常為定制型，主要用于手動(dòng)控制真空氣路通斷、分?jǐn)鄿y(cè)壓等。通常會(huì)在角閥上焊接一個(gè)KF16接頭，以便連接真空計(jì)。
這種閥門在真空等離子清洗中已經(jīng)很少被應(yīng)用，主要應(yīng)用于部分實(shí)驗(yàn)設(shè)備及真空管道檢漏。

國(guó)華電子真空等離子清洗機(jī)的常用氣路控制閥

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