Z+θxθy軸壓電偏擺鏡采用磁浮驅(qū)動(dòng)技術(shù),具有隔振能力,環(huán)境振動(dòng)向負(fù)載鏡片的傳遞將被大幅衰減,在高沖擊環(huán)境應(yīng)用中具有其他技術(shù)難以取代的優(yōu)點(diǎn)。
Z+θxθy軸壓電偏擺鏡技術(shù)數(shù)據(jù)
產(chǎn)品型號(hào) | PT2M25-500S / -S | PT2M25-1000S / -S | PT2M25-2000S / -S | 公差 | |
運(yùn)動(dòng)自由度 | θx、θy | θx、θy | θx、θy | - | |
傳感器類型 | - / Strain Gage | - / Strain Gage | - / Strain Gage | - | |
標(biāo)稱行程范圍(@0~+120V) | 500秒 ≈ 2.5 mrad/軸 | 1000秒 ≈ 5 mrad/軸 | 2000秒 ≈ 10 mrad/軸 | ±20% | |
zui大行程范圍(@-20~+150V) | 600秒 ≈ 3 mrad/軸 | 1200秒 ≈ 6 mrad/軸 | 2400秒 ≈ 12 mrad/軸 | ±20% | |
分辨率 | 0.1 / 0.2 μrad | 0.2 / 0.4 μrad | 0.3 / 0.6 μrad | typ. | |
重復(fù)定位精度 | - / 0.05% F.S. | - / 0.1% F.S. | - / 0.15% F.S. | typ. | |
線性度 | - / 0.15% F.S. | - / 0.2% F.S. | - / 0.3% F.S. | typ. | |
承載能力(*) | Φ25×8mm光學(xué)鏡片 | Φ25×8mm光學(xué)鏡片 | Φ25×8mm光學(xué)鏡片 | typ. | |
諧振頻率 | 0g | 3500 Hz | 3200 Hz | 3000 Hz | ±20% |
靜電容量 | 3.4 μF/軸 | 6.8 μF/軸 | 13.6 μF/軸 | ±20% | |
工作溫度范圍 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
驅(qū)動(dòng)電壓范圍(*)1 | 0~+120 V@固定電壓 | 0~+120 V@固定電壓 | 0~+120 V@固定電壓 | typ. | |
線纜長(zhǎng)度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | |
外形尺寸(LxH) | Φ25×38 mm | Φ25×56 mm | Φ25×92 mm | - | |
重量 | 200 g | 380 g | 700 g | ±5% | |
本體材質(zhì)2 | 鋼(W) | 鋼(W) | 鋼(W) | - |
說(shuō)明:
1.zui大驅(qū)動(dòng)電壓可在-20V~+150V使用;*使用建議在0~120V驅(qū)動(dòng)電壓下可延長(zhǎng)使用壽命。
2.表面處理:白色(W)/黑色(B)。
Z+θxθy軸壓電偏擺鏡特點(diǎn):
二維高速壓電偏擺鏡
高精度電容傳感器閉環(huán)、高線性度
大偏擺角、超高諧振頻率、毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間
Z+θxθy軸壓電偏擺鏡主要應(yīng)用
l 光束穩(wěn)定
l 粒子跟蹤
l 快速轉(zhuǎn)向
l 共焦顯微鏡
l 光鑷