高精度壓電偏擺鏡通過反射鏡的兩軸快速擺振實(shí)現(xiàn)光路調(diào)整，以補(bǔ)償振動(dòng)對光路的影響，或者控制光路產(chǎn)生期望的指向。音圈快反鏡MY603/MY903采用經(jīng)過特殊設(shè)計(jì)的精密音圈電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)，輸出力大、響應(yīng)快、控制精度高；采用反射鏡及支撐結(jié)構(gòu)一體化設(shè)計(jì)技術(shù)，降低了質(zhì)量/慣量、減小了體積，具有優(yōu)異的動(dòng)態(tài)特性；采用了轉(zhuǎn)軸構(gòu)型優(yōu)化技術(shù)，使快反鏡具有良好的控制精度和閉環(huán)帶寬。

高精度壓電偏擺鏡應(yīng)用    

• 圖像處理/穩(wěn)定 

• 干涉法 

• 激光掃描/光束偏轉(zhuǎn)

 • 激光調(diào)諧 

• 光過濾/開關(guān) 

• 光束穩(wěn)定  

• 光束掃描  

 • 隔行掃描、抖動(dòng) 

 • 光束偏擺/穩(wěn)定  

• 光學(xué)、激光掃描、通信  

• 光學(xué)濾波器/開關(guān)  

• 光學(xué)顯微成像 

• SPM掃描顯微鏡 

• 自適應(yīng)光學(xué)、穩(wěn)像 

• 干涉 

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品特點(diǎn)：

◆ 結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成；

◆ 超大擺角高達(dá)；

◆ 采用無摩擦、無回差緊湊的差分式并聯(lián)結(jié)構(gòu)柔性導(dǎo)向系統(tǒng)，具有超高的導(dǎo)向精度；

◆ 內(nèi)置高性能的壓電陶瓷，高可靠性；

◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋，開/閉環(huán)可供選擇，可提供定制安裝及出線方式。

上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司（簡稱“納動(dòng)納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開發(fā)區(qū)，是一家專業(yè)集精密機(jī)械、精密驅(qū)動(dòng)、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學(xué)等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*，專注于超精密納米級(jí)定位及運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)與產(chǎn)品的開發(fā)，并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案，滿足于國內(nèi)外市場對超精密納米級(jí)定位及運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。

上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限貴公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動(dòng)器、納米級(jí)精密定位臺(tái)/掃描臺(tái)、壓電納米定位平移臺(tái)/升降臺(tái)/偏擺臺(tái)/旋轉(zhuǎn)臺(tái)、納米級(jí)光束偏轉(zhuǎn)鏡、納米級(jí)顯微掃描平臺(tái)、納米級(jí)物鏡聚焦/掃描器、納米級(jí)紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達(dá)/電機(jī)、壓電螺旋促動(dòng)器、壓電點(diǎn)膠閥、壓電機(jī)床微進(jìn)給平臺(tái)、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)/控制器、高精度微位移測量系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。