一維壓電偏擺鏡使用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu),補償量小,確保了擺鏡的運動精度和超高的穩(wěn)定性。結(jié)構(gòu)內(nèi)置高性能的壓電陶瓷,基于平行運動學設(shè)計壓電直驅(qū)的三腳架結(jié)構(gòu),提供了非常優(yōu)異的偏轉(zhuǎn)穩(wěn)定性。平臺采用緊湊的差分并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計且內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級,定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。緊湊型設(shè)計,可更好的集成于光學系統(tǒng)中。
一維壓電偏擺鏡應(yīng)用
• 圖像處理/穩(wěn)定 • 隔行掃描、抖動 • 激光對抗 • 光束偏擺/穩(wěn)定 • 光學、激光掃描、通信、光線偏轉(zhuǎn)、光過濾/轉(zhuǎn)換
特點
• θx, θy偏擺運動 • 開環(huán)/閉環(huán) • 80mm×80mm透空孔 • 分辨率高
技術(shù)數(shù)據(jù)
產(chǎn)品型號 | PT2M25-500S / -S | PT2M25-1000S / -S | PT2M25-2000S / -S | 公差 | |
運動自由度 | θx、θy | θx、θy | θx、θy | - | |
傳感器類型 | - / Strain Gage | - / Strain Gage | - / Strain Gage | - | |
標稱行程范圍(@0~+120V) | 500秒 ≈ 2.5 mrad/軸 | 1000秒 ≈ 5 mrad/軸 | 2000秒 ≈ 10 mrad/軸 | ±20% | |
zui大行程范圍(@-20~+150V) | 600秒 ≈ 3 mrad/軸 | 1200秒 ≈ 6 mrad/軸 | 2400秒 ≈ 12 mrad/軸 | ±20% | |
分辨率 | 0.1 / 0.2 μrad | 0.2 / 0.4 μrad | 0.3 / 0.6 μrad | typ. | |
重復(fù)定位精度 | - / 0.05% F.S. | - / 0.1% F.S. | - / 0.15% F.S. | typ. | |
線性度 | - / 0.15% F.S. | - / 0.2% F.S. | - / 0.3% F.S. | typ. | |
承載能力(*) | Φ25×8mm光學鏡片 | Φ25×8mm光學鏡片 | Φ25×8mm光學鏡片 | typ. | |
諧振頻率 | 0g | 3500 Hz | 3200 Hz | 3000 Hz | ±20% |
靜電容量 | 3.4 μF/軸 | 6.8 μF/軸 | 13.6 μF/軸 | ±20% | |
工作溫度范圍 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
驅(qū)動電壓范圍(*)1 | 0~+120 V@固定電壓 | 0~+120 V@固定電壓 | 0~+120 V@固定電壓 | typ. | |
線纜長度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | |
外形尺寸(LxH) | Φ25×38 mm | Φ25×56 mm | Φ25×92 mm | - | |
重量 | 200 g | 380 g | 700 g | ±5% | |
本體材質(zhì)2 | 鋼(W) | 鋼(W) | 鋼(W) | - |
說明:
1.zui大驅(qū)動電壓可在-20V~+150V使用;*使用建議在0~120V驅(qū)動電壓下可延長使用壽命。
2.表面處理:白色(W)/黑色(B)。