PT二維壓電偏轉(zhuǎn)鏡是采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的二維納米級(jí)精密光束壓電偏擺鏡,壓電偏擺鏡內(nèi)部使用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu),采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),緊湊的差分并聯(lián)結(jié)構(gòu)柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,且具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)。
PT二維壓電偏轉(zhuǎn)鏡產(chǎn)品特點(diǎn):
◆緊湊的外形尺寸,結(jié)構(gòu)緊湊,易于集成;
◆ 采用無(wú)摩擦、無(wú)回差緊湊的差分式并聯(lián)結(jié)構(gòu)柔性導(dǎo)向系統(tǒng),具有超高的導(dǎo)向精度;
◆內(nèi)置高性能的壓電陶瓷,高可靠性;
◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,開(kāi)/閉環(huán)可供選擇,可提供定制安裝及出線方式。
應(yīng)用
圖像處理/穩(wěn)定 • 隔行掃描,抖動(dòng) • 激光掃描 • 光束偏擺/穩(wěn)定 • 激光通信 • 光過(guò)濾/轉(zhuǎn)換 • 納米定位
技術(shù)數(shù)據(jù)
產(chǎn)品型號(hào) | PT2M25-500S / -S | PT2M25-1000S / -S | PT2M25-2000S / -S | 公差 | |
運(yùn)動(dòng)自由度 | θx、θy | θx、θy | θx、θy | - | |
傳感器類型 | - / Strain Gage | - / Strain Gage | - / Strain Gage | - | |
標(biāo)稱行程范圍(@0~+120V) | 500秒 ≈ 2.5 mrad/軸 | 1000秒 ≈ 5 mrad/軸 | 2000秒 ≈ 10 mrad/軸 | ±20% | |
zui大行程范圍(@-20~+150V) | 600秒 ≈ 3 mrad/軸 | 1200秒 ≈ 6 mrad/軸 | 2400秒 ≈ 12 mrad/軸 | ±20% | |
分辨率 | 0.1 / 0.2 μrad | 0.2 / 0.4 μrad | 0.3 / 0.6 μrad | typ. | |
重復(fù)定位精度 | - / 0.05% F.S. | - / 0.1% F.S. | - / 0.15% F.S. | typ. | |
線性度 | - / 0.15% F.S. | - / 0.2% F.S. | - / 0.3% F.S. | typ. | |
承載能力(*) | Φ25×8mm光學(xué)鏡片 | Φ25×8mm光學(xué)鏡片 | Φ25×8mm光學(xué)鏡片 | typ. | |
諧振頻率 | 0g | 3500 Hz | 3200 Hz | 3000 Hz | ±20% |
靜電容量 | 3.4 μF/軸 | 6.8 μF/軸 | 13.6 μF/軸 | ±20% | |
工作溫度范圍 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
驅(qū)動(dòng)電壓范圍(*)1 | 0~+120 V@固定電壓 | 0~+120 V@固定電壓 | 0~+120 V@固定電壓 | typ. | |
線纜長(zhǎng)度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | |
外形尺寸(LxH) | Φ25×38 mm | Φ25×56 mm | Φ25×92 mm | - | |
重量 | 200 g | 380 g | 700 g | ±5% | |
本體材質(zhì)2 | 鋼(W) | 鋼(W) | 鋼(W) | - |
說(shuō)明:
1.zui大驅(qū)動(dòng)電壓可在-20V~+150V使用;*使用建議在0~120V驅(qū)動(dòng)電壓下可延長(zhǎng)使用壽命。
2.表面處理:白色(W)/黑色(B)。