PF壓電物鏡定位臺行程80微米是專門為聚焦顯微而設(shè)計(jì)的，采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，物鏡補(bǔ)償量小，具有超高聚焦穩(wěn)定性，物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動鏡片聚焦提高精度，可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。
PF壓電物鏡定位臺行程80微米主要特點(diǎn)：
- 亞納米的分辨率
- 高的帶寬
- 高速響應(yīng)
- 高的可靠性
- 壓電陶瓷驅(qū)動
- 柔性鉸鏈設(shè)計(jì)
- 電容位移傳感器閉環(huán)反饋
- 雙傳感器設(shè)計(jì)
應(yīng)用：
晶圓切割•生物顯微•白光干涉• 原子力顯微鏡•差動聚焦檢測系統(tǒng)•顯微光學(xué)成像
■ 技術(shù)數(shù)據(jù)
| 產(chǎn)品型號 | PFV**-80U（小負(fù)載型） | PFV**-80U-S（小負(fù)載型） | 公差 | |
| 運(yùn)動自由度 | Z | Z | - | |
| 傳感器類型 | - | Strain Gage | - | |
| 標(biāo)稱行程范圍（@0~+120V） | 80 μm | 80 μm | ±20% | |
| zui大行程范圍（@-20~+150V） | 100 μm | 100 μm | ±20% | |
| 分辨率 | 2.5 nm | 5 nm | typ. | |
| 重復(fù)定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | |
| 線性度 | - | 0.1% F.S. | typ. | |
| 承載能力 | 2 N | 2 N | Max. | |
| 剛度 | 1.3 N/μm | 1.3 N/μm | ±20% | |
| 諧振頻率 | 0g | 330 Hz | 330 Hz | ±20% |
| 靜電容量 | 3.4 μF | 3.4 μF | ±20% | |
| 工作溫度范圍 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
| 驅(qū)動電壓范圍（*）1 | 0~+120 V | 0~+120 V | typ. | |
| 線纜長度 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm | |
| 外形尺寸(LxH) | 48×40×16.5 mm（不含適配器） | 48×40×19 mm（不含適配器） | - | |
| 重量 | 150 g | 150 g | ±5% | |
| 本體材質(zhì)2 | 鋼（W） | 鋼（W） | - | |
說明：
1.zui大驅(qū)動電壓可在-20V~+150V使用；*使用建議在0~120V驅(qū)動電壓下可延長使用壽命。
2.表面處理:白色(W)/黑色(B)。
