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PF系列壓電物鏡聚焦臺-電子/半導體檢測儀器

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海市
  • 更新時間2018-06-28
  • 廠商性質生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限8
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量160
  • 人氣值47957
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上海納動納米位移技術有限公司(簡稱“納動納米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河涇新興技術開發(fā)區(qū),是一家專業(yè)集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*,專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產(chǎn)品的開發(fā),并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統(tǒng)的技術解決方案,滿足于國內外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業(yè)研發(fā)制造商。        上海納動納米位移技術有限公司本著“創(chuàng)新,立足,精益打造納米定位與運動控制中國制造的品牌“的目標,力求*國內技術空白,打破國外對中國的技術壁壘和國外產(chǎn)品壟斷中國市場的局面,為中國智能裝備產(chǎn)業(yè)和科研領域提供*運動和測控解決方案提供關鍵技術和打造堅實基礎。        上海納動納米位移技術有限公司在納米定位及運動控制技術方面擁有近十余年的產(chǎn)品研發(fā)技術經(jīng)驗團隊組成,并具有*的自主知識產(chǎn)權。產(chǎn)品涵蓋疊堆壓電陶瓷、機械封裝型壓電促動器、壓電納米定位臺、壓電納米掃描臺、壓電平移臺、壓電偏擺臺、壓電Tip/Tilt平臺、壓電光束偏轉鏡、壓電旋轉臺、壓電升降臺、壓電顯微鏡樣品掃描臺、壓電物鏡聚焦定位器、壓電陶瓷驅動/控制器、機床微進給壓電平臺、多自由度并聯(lián)機構、壓電微調千分尺、高精度微位移測量系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。        上海納動納米位移技術有限公司研發(fā)生產(chǎn)的產(chǎn)品廣泛適用于光學、光電子、生物設備、精密加工制造、航空技術、圖像處理、顯微鏡、半導體、自動對焦裝置等,并服務于國內各高校、研究所及科研等領域從事前沿科學研究,產(chǎn)品得到用戶的*好評。我們基于現(xiàn)代科學技術發(fā)展和使用可靠的制造技術,使我們能夠創(chuàng)造*的產(chǎn)品,以滿足客戶的需求。

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PF系列壓電物鏡聚焦臺為大行程的物鏡掃描臺,可達400mm。同樣采用雙傳感技術,擁有極短的穩(wěn)定時間和高的帶寬。利用電容位移傳感技術,其分辨率達到1nm。采用高剛度、無摩擦的柔性鉸鏈為傳動導向機構。
PF系列壓電物鏡聚焦臺-電子/半導體檢測儀器 產(chǎn)品詳情

      PF系列壓電物鏡聚焦臺是采用壓電陶瓷驅動的納米級物鏡掃描臺,掃描臺內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,確保了掃描臺的運動精度。掃描臺內置精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級,定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。掃描臺為無磁材質,使用過程中不產(chǎn)生磁場同時也不受磁場的影響。分立的螺紋適配器,可適配多種型號的物鏡。

 PF系列壓電物鏡聚焦臺主要特點:

  • 亞納米的分辨率
  • 高的帶寬
  • 高速響應
  • 高的可靠性
  • 壓電陶瓷驅動
  • 柔性鉸鏈設計
  • 電容位移傳感器閉環(huán)反饋
  • 雙傳感器設計

 

u  主要應用 

  表面結構分析、 自動聚焦系統(tǒng)、共聚焦顯微鏡、掃描干涉儀等。

■  技術數(shù)據(jù)

產(chǎn)品型號

PFV**-80U(小負載型)

PFV**-80U-S(小負載型)

公差

運動自由度

Z

Z

-

傳感器類型

-

Strain Gage

-

標稱行程范圍(@0~+120V)

80 μm

80 μm

±20%

zui大行程范圍(@-20~+150V)

100 μm

100 μm

±20%

分辨率

2.5 nm

5 nm

typ.

重復定位精度

-

0.05% F.S.

typ.

線性度

-

0.1% F.S.

typ.

承載能力

2 N

2 N

Max.

剛度

1.3 N/μm

1.3 N/μm

±20%

諧振頻率

0g

330 Hz

330 Hz

±20%

靜電容量

3.4 μF

3.4 μF

±20%

工作溫度范圍

-10~+70 ℃

-10~+70 ℃

-

驅動電壓范圍(*)1

0~+120 V

0~+120 V

typ.

線纜長度

1.5 m

1.5 m

±10mm

外形尺寸(LxH)

48×40×16.5 mm(不含適配器)

48×40×19 mm(不含適配器)

-

重量

150 g

150 g

±5%

本體材質2

鋼(W)

鋼(W)

-

說明:

1.zui大驅動電壓可在-20V~+150V使用;*使用建議在0~120V驅動電壓下可延長使用壽命。

2.表面處理:白色(W)/黑色(B)。

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