Joule Yacht 薄膜熱電參數(shù)測試系統(tǒng) MRS 產(chǎn)品特點
專門針對薄膜材料的Seebeck系數(shù)和電阻率測量。
測試環(huán)境溫度范圍達(dá)到81K~700K。
采用動態(tài)法測量Seebeck系數(shù),避免了靜態(tài)測量在溫差測量上的系統(tǒng)誤差,測量更準(zhǔn)確。
采用四線法測量電阻率。
熱電偶探針經(jīng)過嚴(yán)格的篩選配對保證測試結(jié)果的準(zhǔn)確和穩(wěn)定。
軟件操作簡單,智能化可實現(xiàn)全自動模式。
Joule Yacht 薄膜熱電參數(shù)測試系統(tǒng) MRS 技術(shù)參數(shù)
型號 | MRS-3 | MRS-3RT | |
環(huán)境溫度 | 81K~700K | RT | |
溫控方式 | PID程序控制 | \ | |
真空度 | ≤ 1Pa | \ | |
測試氣氛 | 真空 | 空氣 | |
測量范圍 | 澤貝克系數(shù):S ≥ 8µV/K; 電阻率:0.1µΩ•m ~ 1000KµΩ•m | ||
分辨率 | 澤貝克系數(shù):0.05µV/K; 電阻率:0.05µΩ•m | ||
相對誤差 | 澤貝克系數(shù) ≤ 7%,電阻率 ≤ 5% | ||
測量模式 | 自動 | ||
樣品尺寸 | 長 x 寬:(10~18)x(4~14)mm2,薄膜厚度≥50nm | ||
主機(jī)尺寸 | 采集箱:470x400x140,單位mm | 170x250x220,單位mm | |
重量 | 31.9kg | 3.5kg |
薄膜熱電參數(shù)測試系統(tǒng)樣品要求
樣品滿足上述樣品尺寸,待測面需平整,薄膜均勻性好,保證與銅片接觸良好
薄膜材料厚度低可至100nm,其均勻性有較高要求,薄膜厚度達(dá)到微米級別較好
薄膜材料的襯底需選擇電阻率較大或絕緣材料為宜,如玻璃、Si等材料
薄膜熱電參數(shù)測試系統(tǒng)技術(shù)原理
動態(tài)法:測量Seebeck系數(shù)
在待測溫場下給樣品兩端加一個連續(xù)變化的微小溫差,通過記錄樣品兩端溫差和熱電勢的變化,然后將溫差和熱電勢擬合成一條直線,直線斜率即為該材料在該溫場下的Seebeck系數(shù)。
采用四線法測量電阻率。
薄膜熱電參數(shù)測試系統(tǒng)測試實例