Joule Yacht 薄膜熱導(dǎo)率測試系統(tǒng) TCT 產(chǎn)品特點
不直接測量溫度變化,而是通過測量材料在導(dǎo)熱過程中溫度的變化轉(zhuǎn)換為的電信號的變化來實現(xiàn)微/納米薄膜材料的熱導(dǎo)率,微伏級電壓值,保證測量結(jié)果的高精確度。
采用交流電加熱方式,同時選擇并優(yōu)化設(shè)計加熱電極的形狀與尺寸,可保證加熱均勻性及測試應(yīng)用的廣泛性、準確性與穩(wěn)定性。
待測薄膜樣品金屬尺寸極小,能有效減小黑體輻射引起的測量誤差。
友好的軟件界面。
Joule Yacht 薄膜熱導(dǎo)率測試系統(tǒng) TCT 技術(shù)參數(shù)
型號 | TCT-HT | ||
溫度范圍 | RT-500K | ||
測試對象 | 半導(dǎo)體薄膜、導(dǎo)電薄膜、絕緣薄膜等 | ||
熱導(dǎo)率測量范圍 | 0.1-10W/(m·K)(可擴展至2000W/(m·K)) | ||
測試精度 (熱導(dǎo)率) | ±5%(在Si上測量),±10%(其他) | ||
適合氛圍 | 真空 | ||
樣品尺寸 | 長 x 寬:(5-10)x(5-10),單位mm,薄膜厚度≥100nm | ||
其他注意事項 | 測量導(dǎo)電薄膜時,需要沉積絕緣層(*:Sio2),薄膜表面要非常光滑,確保絕緣層不漏電;襯底熱導(dǎo)率要遠大于薄膜熱導(dǎo)率,*使用Si、AIN等高熱導(dǎo)襯底。 | ||
主機尺寸 | 710 x 600 x 490,單位mm | ||
重量 | 80kg
|
薄膜熱導(dǎo)率測試系統(tǒng)測試實例