Joule Yacht 紅外退火爐 IRLA 產(chǎn)品特點
采用國外品牌部件:循環(huán)水路設計,帶過濾部件,延長清洗爐體水路;紅外燈管壽命高達5000小時,峰值波長約為1.25微米,爐體工藝鏡面拋光。
高精度控溫:模糊邏輯PID控溫,控溫精度可達±0.1℃。
快速控溫:高能流密度紅外燈設計,24秒內(nèi)儀器可快速升溫至1150℃;同時,爐體的熱容小,配合*的冷卻系統(tǒng),可實現(xiàn)快速降溫。
異常報警保護:超溫和流量異常時均會自動切斷加熱,保護爐膛,達到報警的效果。
潔凈控溫:非電阻爐加熱,無絕熱保溫材料,更適合在潔凈環(huán)境中使用。
可擴展性:帶觀察窗,可配CCD,采集光學信號;預留接口,可加載電學測量模塊等。
Joule Yacht 紅外退火爐 IRLA 應用功能
強誘導體薄膜的結(jié)晶化退火
注入離子后的擴散退火
半導體材料的燒成與退火條件研究
快速熱退火、熱氧化和熱氮化
電極合金化
晶向化和堅化
石墨烯等氣相沉積
碳納米管等外延生長
單晶基板熱處理
紅外退火爐技術(shù)參數(shù)
型號 | IRLA-1200 |
溫度范圍 | RT~1150℃ |
溫控精度 | ±0.1℃ |
大升溫速率 | 45℃/s (真空),40℃/s (氮氣) |
測試氣氛 | 真空, N2 ,惰性氣體 |
大樣品尺寸 | 20 x 20 x 2,單位mm(大) |
處理材料類型 | 薄膜、粉體、塊體、液體 |
溫度傳感器 | 標準K型熱電偶 |
額定功率 | 4x(1KW-110V/根) |
溫度程序模式 | 溫度-時間設置,256步,32個程序,循環(huán)、保溫等功能模糊PID邏輯控溫,手動/自動開始,USB485連接 |
外觀尺寸 | 420X320X220,單位mm |
重量 | 20.5kg |
溫升曲線圖(1150℃)