ASUMI技研準(zhǔn)分子照射裝置定制事例

準(zhǔn)分子照射裝置定制事例

用于R&D用掃描式準(zhǔn)分子照射裝置( 400mm )照射寬度400mm的準(zhǔn)分子照射單元的掃描式照射裝置。 大工件尺寸為400×800mm。 型號(hào)ASM400 E

型號(hào) ASM400 Excimer

發(fā)光波長(zhǎng) 172納米

處理對(duì)象物 W400mm×D800mm以下、厚度40mm以下

照射距離調(diào)整 帶調(diào)整用實(shí)驗(yàn)室千斤頂(照射距離0~40mm可變)

外形尺寸 本體: ( w ) 760 mm×( d ) 200 mm×( h ) 630 mm (突起物除外)

概算重量 約12.7 kg (本體100kg、照射單元10.3kg燈電源12.4kg )

本體材質(zhì) SUS304/A5052P/SPCC

Ø 照射單元

燈泡制造商 濱松光子學(xué)株式會(huì)社制

型號(hào) flatexcimerex-400 l 1751-01

照射強(qiáng)度 65mW/c㎡

照射面尺寸 400mm×38mm

準(zhǔn)分子有效照射距離5mm以內(nèi)推薦

冷卻方式 強(qiáng)制空冷

Ø 輸送部

桌面材質(zhì) A5052P (帶定位用狹縫)

遮光罩 PVC (防紫外線黃色)

處理速度 0.1mm/sec~120mm/sec

處理可動(dòng)范圍 1000mm

Ø 其他

觸摸屏 7英寸單色觸摸屏

食譜數(shù) 20方法(處理速度、可設(shè)定照射時(shí)間)

監(jiān)視器功能 現(xiàn)在速度，帶現(xiàn)在位置顯示功能

排臭設(shè)備 內(nèi)置臭氧催化劑(風(fēng)扇強(qiáng)制排氣)

公用事業(yè)公司 單相200 v 50/60 Hz 100 va

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