ASUMI技研準分子照射裝置定制事例

準分子照射裝置定制事例

用于R&D用掃描式準分子照射裝置( 400mm )照射寬度400mm的準分子照射單元的掃描式照射裝置。 大工件尺寸為400×800mm。 型號ASM400 E

型號 ASM400 Excimer

發(fā)光波長 172納米

處理對象物 W400mm×D800mm以下、厚度40mm以下

照射距離調整 帶調整用實驗室千斤頂(照射距離0~40mm可變)

外形尺寸 本體: ( w ) 760 mm×( d ) 200 mm×( h ) 630 mm (突起物除外)

概算重量 約12.7 kg (本體100kg、照射單元10.3kg燈電源12.4kg )

本體材質 SUS304/A5052P/SPCC

Ø 照射單元

燈泡制造商 濱松光子學株式會社制

型號 flatexcimerex-400 l 1751-01

照射強度 65mW/c㎡

照射面尺寸 400mm×38mm

準分子有效照射距離5mm以內推薦

冷卻方式 強制空冷

Ø 輸送部

桌面材質 A5052P (帶定位用狹縫)

遮光罩 PVC (防紫外線黃色)

處理速度 0.1mm/sec~120mm/sec

處理可動范圍 1000mm

Ø 其他

觸摸屏 7英寸單色觸摸屏

食譜數 20方法(處理速度、可設定照射時間)

監(jiān)視器功能 現在速度，帶現在位置顯示功能

排臭設備 內置臭氧催化劑(風扇強制排氣)

公用事業(yè)公司 單相200 v 50/60 Hz 100 va

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