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產(chǎn)品型號
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更新時(shí)間:2023-11-01 11:33:25瀏覽次數(shù):122次
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NM-X-5A尺寸小,毫秒級響應(yīng)時(shí)間,應(yīng)用在需要高可靠性和高輸出的方面。輕質(zhì)量、高剛度,而且可以用于高的帶寬環(huán)境。 電容傳感器提供了高于納米級的分辨率,實(shí)現(xiàn)在6微米內(nèi)的閉環(huán)控制。柔性導(dǎo)軌使運(yùn)動平滑,運(yùn)動范圍可減小到5微米。因?yàn)榻Y(jié)合了數(shù)字閉環(huán)控制器,NM-X-5A可以實(shí)現(xiàn)高于納米級的響應(yīng)。
>5微米運(yùn)動范圍,高于納米級分辨率;
振蕩頻率>8K;
小于微秒級響應(yīng)時(shí)間(負(fù)載5g);
現(xiàn)場掃描和步驟反應(yīng)化;
高穩(wěn)定性;
即插即用,低停機(jī)時(shí)間;
磁頭和硬盤測試;
干涉測量……
參數(shù) | 符號 | 值 | 單位 | 備注 | ||||||
靜態(tài)參數(shù) |
| |||||||||
|
| 最小 | 標(biāo)準(zhǔn) |
|
|
| ||||
材質(zhì) |
| 鋁 |
|
| ||||||
尺寸 |
| 23(長)×16.5(寬)×7.6(高) | mm |
| ||||||
*范圍 | dxp·max | 6.5 |
| μm |
| |||||
*比例因子 | bx1 |
| 1 |
| μm | ① | ||||
*比例因子誤差 | δbx1 |
| 小于0.1 | % | ||||||
共振頻率(空載) | f0·0 | 8000 |
| Hz |
| |||||
負(fù)載 |
|
|
| 5 | g | ② | ||||
動態(tài)參數(shù) |
| |||||||||
3dB帶寬 | Bx·p | 500 | Hz |
| ||||||
*信號響應(yīng)時(shí)間 | txs·s | 1.6 | ms | ③ | ||||||
*位置噪音 | δXp·n | 0.1 | nm | ④ | ||||||
誤差 |
| |||||||||
*磁滯(峰峰值) | δxp·hyst |
| 0.1 | 0.2 | % | ⑤ | ||||
*線性度(峰值) | δxp·lin |
| 0.1 | 0.2 | % | ⑥ |
注意:
*這些參數(shù)由各轉(zhuǎn)換器實(shí)測并提供。
①、所有的位置命令單位是每微米7個(gè)數(shù)字分辨率。
②、這是Z軸可承受的負(fù)載。
③、這是2%的響應(yīng)時(shí)間,這是伺服系統(tǒng)的閉環(huán)參數(shù),用戶可以控制,測試單位是500nm;
④、實(shí)際的位置噪音;
⑤、位移的百分比,意思是位移為1um則磁滯小于1nm。
⑥、誤差為滿量程的百分比。
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