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所 在 地深圳市
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更新時(shí)間:2016-09-07 15:41:06瀏覽次數(shù):339次
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鍍層測(cè)厚儀技術(shù)參數(shù)
主要規(guī)格 規(guī)格描述
X射線激發(fā)系統(tǒng) 垂直上照式X射線光學(xué)系統(tǒng)
空冷式微聚焦型X射線管,Be窗
標(biāo)準(zhǔn)靶材:Rh靶;任選靶材:W、Mo、Ag等
功率:50W(4-50kV,0-1.0mA)-標(biāo)準(zhǔn)
75W(4-50kV,0-1.5mA)-任選
裝備有安全防射線光閘
二次X射線濾光片:3個(gè)位置程控交換,多種材質(zhì)、多種厚度的二次濾光片任選
準(zhǔn)直器程控交換系統(tǒng) zui多可同時(shí)裝配6種規(guī)格的準(zhǔn)直器
多種規(guī)格尺寸準(zhǔn)直器任選:
-圓形,如4、6、8、12、20 mil等
-矩形,如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等
測(cè)量斑點(diǎn)尺寸 在12.7mm聚焦距離時(shí),zui小測(cè)量斑點(diǎn)尺寸為:0.078 x 0.055mm(使用0.025 x 0.05 mm準(zhǔn)直器)
在12.7mm聚焦距離時(shí),zui大測(cè)量斑點(diǎn)尺寸為:0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm準(zhǔn)直器)
樣品室
-樣品室結(jié)構(gòu) 開槽式樣品室
-zui大樣品臺(tái)尺寸 610mm x 610mm
-XY軸程控移動(dòng)范圍 標(biāo)準(zhǔn):152.4 x 177.8mm
還有5種規(guī)格任選
-Z軸程控移動(dòng)高度 43.18mm
-XYZ三軸控制方式 多種控制方式任選:XYZ三軸程序控制、XY軸手動(dòng)控制和Z軸程序控制、XYZ三軸手動(dòng)控制
-樣品觀察系統(tǒng) 高分辨彩色CCD觀察系統(tǒng),標(biāo)準(zhǔn)放大倍數(shù)為30倍。(50倍和100倍觀察系統(tǒng)任選。)
激光自動(dòng)對(duì)焦功能
可變焦距控制功能和固定焦距控制功能
計(jì)算機(jī)系統(tǒng)配置 IBM計(jì)算機(jī)
惠普或愛普生或佳能彩色噴墨打印機(jī)
分析應(yīng)用軟件 操作系統(tǒng):WindowsXP(OEM)中文平臺(tái)
分析軟件包: SmartLink FP軟件包
測(cè)厚儀附件-Z軸控制板
測(cè)厚儀附件-Z軸控制板
銅厚測(cè)量范圍:
化學(xué)銅:0.25μm–12.7μm(10μin–500μin)
電鍍銅:2.5μm–152μm(0.1mil–6mil)
線形銅可測(cè)試線寬范圍:203μm–6350μm(8mil–250mil)
準(zhǔn)確度:±5%參考標(biāo)準(zhǔn)片
精確度:化學(xué)銅:標(biāo)準(zhǔn)差0.2%;
電鍍銅:標(biāo)準(zhǔn)差0.3%;
分辨率:0.01mils≥1 mil,0.001mils<1mil,0.1μm≥10μm,0.01μm<10μm,0.001μm<1μm
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