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MKS C系列質(zhì)量流量控制器 質(zhì)量流量計(jì)
1179A MKS1179A MKS1179A質(zhì)量流量計(jì)
180A ALTAMKS數(shù)字型金屬密封流量計(jì)
1559A MKS質(zhì)量流量計(jì)
1559A MKS質(zhì)量流量計(jì)采用彈性密封設(shè)計(jì)，流量范圍20SLM至200SLM。具有*的消除控制閥振蕩設(shè)計(jì)，并提供比其他流量控制器更快的響應(yīng)時間。閥門平衡力的設(shè)計(jì)自動中和控制閥內(nèi)的不平衡。1559A的精度為滿量程的±1%。
1559A選型：
前綴 | 編碼 |
1559A | 1159A |
氣體選擇 | |
Helium, He | 001 |
Argon, Ar | 004 |
Hydrogen, H2 | 007 |
Nitrogen, N2 | 013 |
Oxygen, 02 | 015 |
流量選擇 | |
20 | 21L |
50 | 51L |
100 | 12L |
200 | 22L |
接口法蘭選擇 | |
標(biāo)準(zhǔn)Swagelok 1／2管道 | S |
可選擇Swagelok 8VCR公頭 | R |
可選擇Swagelok 8VCO公頭 | G |
閥門選擇 | |
通常情況關(guān)閉 | 1 |
電通訊連接方式 | |
15針 | B |
密封選擇 | |
標(biāo)準(zhǔn)的：Viton | V |
可選擇：Neoprene | N |
可選擇：Buna-N | B |
可選擇：Kalrez | K |
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