C系列質(zhì)量流量控制器

C系列質(zhì)量流量控制器（MFC）是緊湊且快速響應(yīng)型，用于非腐蝕性氣體，流量從50SCCM至50SLM，范圍從滿量程0.1%至。控制方式有0至5VDC模擬和RS485，所需電源電壓為24VDC。

C系列質(zhì)量流量計(jì)尺寸為：長5.02英寸(127.5mm) ，寬1英寸(25.4mm)，高4.33英寸(109.98mm)，氣路轉(zhuǎn)接，下載版本及可用。

MEMS低熱式質(zhì)量傳感器提供快速檢測流量變化和低噪聲輸出，傳感器的固態(tài)設(shè)計(jì)使其能抵抗水凝結(jié)粒子，壓力沖擊和振動。

快速響應(yīng)，寬動態(tài)控制范圍，1%精度，在無腐蝕性工藝應(yīng)用中的佳選擇。用于質(zhì)譜、真空鍍膜、生物反應(yīng)及多種應(yīng)用。

C系列融合了快速反應(yīng)的電磁控制閥與流量傳感器，通過MFC優(yōu)化流量耦合信號處理與控制算法，使得響應(yīng)時間小于100毫秒。