CDG025D-X3 INFICON電容膜片真空計

SKY® CDG025D-X3 0.1 ...1000 TORR / MBAR 過程測量儀

KY® CDG025D-X3 - 過程儀表 - 溫度補(bǔ)償，環(huán)境獨(dú)立

INFICON SKY CDG025D 電容式隔膜真空計系列的高精度、溫度補(bǔ)償型壓力計，可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能。高級數(shù)字電子元件可提高儀表性能, 且易操作, 例如一鍵歸零功能和設(shè)定點(diǎn)調(diào)整。防腐蝕超純陶瓷傳感器提供優(yōu)異的零位穩(wěn)定性（包括氣壓突變的情況），預(yù)期使用壽命長達(dá)數(shù)百萬次壓力循環(huán)。傳感器屏蔽可防止儀表被過程污染。堅固的機(jī)械設(shè)計和數(shù)字電子元件可以改進(jìn)電磁兼容性 (EMC)、長期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償。CDG025D 為開機(jī)后快速穩(wěn)定以及從氣壓中快速恢復(fù)的功能樹立了新的標(biāo)準(zhǔn)。

好處

• 從 100 mTorr 至 1000 Torr 的滿刻度量程

• 電源接通后快速穩(wěn)定

• 暴露于大氣壓后快速恢復(fù)

• 防腐蝕陶瓷傳感器

• zhuoyue的長期信號穩(wěn)定性

• 溫度補(bǔ)償

• 傳感器受雙重防污染保護(hù)

• 一鍵調(diào)零功能

• 寬范圍電源

• 2個設(shè)定點(diǎn)

• RS232 接口

• 無塵室合規(guī)

典型應(yīng)用

• 用于蝕刻、CVD、PVD 和 ALD 的半導(dǎo)體制造設(shè)備

• 數(shù)據(jù)存儲和顯示器制造設(shè)備

• 工業(yè)真空設(shè)備

• 經(jīng)濟(jì)、高度精確的壓力測量