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產地 | 進口 | 加工定制 | 否 |
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Trigon™ BAG552中真空至超高真空單真空計
對于需要獨立熱離子規(guī)技術的應用,Trigon™ 系列中包含了采用單一技術的 Bayard-Alpert 熱電離規(guī) BAG552。BAG552 專為壓力范圍為 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的氣體真空測量而設計。支持雙燈絲,具有出色的精度、可重復性和使用壽命。BAG552 還可與 INFICON 真空計控制器系列 VGC501、VGC502 和 VGC503 配合使用。
優(yōu)勢:
1、純粹的 Bayard-Alpert 測量系統(tǒng),適用于超高壓和高壓測量范圍
2、雙燈絲設計
3、電隔離電子設備,避免雜散電流
4、滑動發(fā)射模式,避免在切換發(fā)射流時出現(xiàn)壓力跳躍和凍結現(xiàn)象
5、可移動校準數據芯片,延長了烘烤時間
6、設定點繼電器
7、明亮大屏幕 OLED 顯示屏(可 90° 旋轉),帶用戶界面
8、模擬輸出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
9、可與 VGC50x 控制器系列配合使用
10、符合 RoHS 規(guī)范
典型應用:
1、半導體工藝中的壓力測量
2、工業(yè)鍍膜
3、高真空至超高真空范圍內系統(tǒng)的一般真空測量和控制
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