Tru-F10 MKS質(zhì)量流量計(jì)

Tru-Flo® 質(zhì)量流量檢測(cè)器是一個(gè)緊湊型的診斷儀器。它在已知的腔體體積和溫度的條件下， 測(cè)量上升的壓力來(lái)確定流量。

•    DELTA® II流量比例控制器隨著 DELTA 流量比例控制器的使用， 優(yōu)化工藝結(jié)果將變得容易。它可將混合的工藝氣體按比例分為兩路以提高均勻性等工藝參數(shù)。比例可從1:1至1:20。