EV-140C等離子發(fā)光分析終點(diǎn)檢測(cè)儀

EV-140C等離子發(fā)光分析終點(diǎn)檢測(cè)儀這是一套分析放射性發(fā)光的終點(diǎn)監(jiān)測(cè)設(shè)備，專(zhuān)為以等離子技術(shù)為基礎(chǔ)的半導(dǎo)體薄膜制程進(jìn)行終點(diǎn)檢定或等離子條件的監(jiān)控而研制。的數(shù)學(xué)模型技術(shù)賦予它通過(guò)捕獲微弱信號(hào)的變化進(jìn)行終點(diǎn)檢定的能力。在放射性發(fā)光中捕獲微弱變化的能力顯著地提高了靈敏度。對(duì)于抗干擾性的改善確保了本設(shè)備在復(fù)雜環(huán)境下持續(xù)不停的生產(chǎn)線上獲得高穩(wěn)定的運(yùn)行。

特征：

• 布賴(lài)特光柵

布賴(lài)特光學(xué)系統(tǒng)是通過(guò)HORIBA Jobin Yvon制造的一個(gè)巨大的，直徑為70 mm的偏差糾正凹面光柵而實(shí)現(xiàn)的。凹面光柵本身的聚光能力使其具有 比短焦距車(chē)爾尼特納型光譜儀更為明亮的一套簡(jiǎn)易光學(xué)系統(tǒng)架構(gòu)，并且可以zui小化因?yàn)殓R面及其他反射面造成的反射損失。

• 背光式CCD傳感器可以提供高靈敏度和高分辨度的2048個(gè)光學(xué)通道。

背光式CCD可以達(dá)到高量子效率，確保從紫外光到可見(jiàn)光之間的寬波段范圍內(nèi)獲得穩(wěn)定的分光鏡使用。高靈敏度的測(cè)量在紫外光波段，特別是在那些較少受到干擾影響的波長(zhǎng)范圍，使終點(diǎn)監(jiān)測(cè)成為可能。

• 專(zhuān)為*制程控制而準(zhǔn)備的Sigma-P軟件

應(yīng)制程控制的要求，此軟件可以執(zhí)行多種工序，從等離子體現(xiàn)象分析到測(cè)量數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)庫(kù)創(chuàng)建和生產(chǎn)設(shè)備的遠(yuǎn)程遙控。測(cè)量工序的可編程架構(gòu)設(shè)計(jì)使其可以對(duì)多重監(jiān)測(cè)和時(shí)序處理進(jìn)行設(shè)定。它賦予檢測(cè)器不僅可以被用于終點(diǎn)監(jiān)測(cè)，同時(shí)也可以被廣泛的用于等離子體環(huán)境下的監(jiān)測(cè)。