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實(shí)時(shí)膜厚檢測(cè)儀DIGILEM-CPM-Xe/Halogen它是干涉測(cè)量設(shè)備,提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測(cè)。單色光打在樣品表面,由于膜厚和高度...
EV-140C等離子發(fā)光分析終點(diǎn)檢測(cè)儀這是一套分析放射性發(fā)光的終點(diǎn)監(jiān)測(cè)設(shè)備,專(zhuān)為以等離子技術(shù)為基礎(chǔ)的半導(dǎo)體薄膜制程進(jìn)行終點(diǎn)檢定或等離子條件的監(jiān)控而研制。的數(shù)學(xué)模...
小型工藝氣體分析儀MICROPOLE系統(tǒng)是一種目前市面上zui小的質(zhì)量能譜儀分析系統(tǒng)。通過(guò)享有的小型化設(shè)計(jì)將四電極質(zhì)量過(guò)濾器進(jìn)行排列,從而獲得了*的緊湊尺寸。
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