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杭州大華儀器制造有限公司


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MiniLab-30T PVD 薄膜沉積系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地杭州市

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更新時間:2024-04-03 15:47:13瀏覽次數(shù):119次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:312條

所在地區(qū):浙江杭州市

產(chǎn)品簡介

應(yīng)用領(lǐng)域:適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜(如Al、Au、Ag、Cu等),也可蒸鍍各種氧化物材料

詳細介紹

應(yīng)用領(lǐng)域:

適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜( Al、Au、AgCu 等),也可蒸鍍各種氧化物材料??蓪崿F(xiàn)對有機材料的蒸發(fā)鍍膜,可滿 足發(fā)光器件 OLED(有機發(fā)光二極管)。及有機太陽能電池方面的研究要求,是一款鍍膜效果理想且性價較高的實驗設(shè)備。 可鍍制低熔點金屬及合金材料薄膜,單層 / 多層 / 復(fù)合膜,( Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Cr,Ni 等);鍍制非金屬 / 化合物等 材料薄膜( Mo03, LiF 等;有機材料等蒸發(fā);太陽能電池、LED 的研究和實驗;描電鏡制樣等

MiniLab 30 PVD 薄膜沉積系統(tǒng) (電阻蒸發(fā)).JPG

基本配置:

真空腔室:350×400mm 不銹鋼 D 形腔體。前門鉸鏈方便真空室清理;腔室底板,頂部和側(cè)面裝有腔室內(nèi)硬件接口;前 門上配直徑 80 玻璃觀察窗(含手動防污染擋板、可拆洗防污玻璃);腔體可選擇水冷。 

抽氣系統(tǒng): 采用復(fù)合分子泵 + 直聯(lián)旋片泵作為真空抽氣系統(tǒng); 主抽泵:分子泵抽速≥ 600L/S,氮氣壓縮比≥ 109 ; 前級泵:VRD-24 機械泵及電磁閥,抽速:6L/S 主抽閥: CCQ-150 超高真空氣動插板閥 

* 真空系統(tǒng)可以升級為進口分子泵和渦旋干泵。 

真空測量:數(shù)顯復(fù)合真空計:兩低一高"全量程數(shù)顯復(fù)合真空計; 

* 真空測量可以升級為進口全量程冷陰極真空計 

極限真空:<5×10-5Pa 恢復(fù)真空:<6.7×10-4Pa(< 45 min) 熱蒸發(fā) / 有機物蒸發(fā)源: 最多 4 組金屬蒸發(fā)源,水冷電極和盒式防污染蒸發(fā)源;(可選配置) 最多 4 個有機束源爐,采用氧化鋁或石英坩堝(2CC)(可選配置) 

蒸發(fā)電源:采用恒壓、恒流真空鍍膜電源,輸出功率 2.4Kw; 電流調(diào)節(jié)精度 0.01A,電壓調(diào)節(jié)精度 0.01V,數(shù)量:2  

樣品臺:可容納樣品尺寸:4 英寸樣品托一個 , 配擋板,轉(zhuǎn)速 0-30rpm 連續(xù)可調(diào) ; 樣品可加熱控溫, 溫度范圍:室溫 -600,控溫精度 ±0.5; 

系統(tǒng)控制:10 英寸觸摸屏 +PLC 控制(可選手動按鈕)

選擇配置:

樣品臺可水冷,采用直接式水冷形式,水冷不控溫 

速率 / 膜厚監(jiān)測儀(SQM-160 薄膜鍍層控制儀(SQC-310 

可選進口蒸發(fā)電源 全量程真空計 (Inficon) 

樣品托 : 不銹鋼、鋁或銅,基片盤上有螺紋孔。

系統(tǒng)要求標(biāo)準(zhǔn)配置:

工藝氣體 :25psi,純度 99.99% 以上 

工作氣體 : 干燥壓縮空氣、氮氣 

: 單相 220V, 50Hz,32A 

:18-25 , 3L/min,壓力 <0.4MPa


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