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杭州大華儀器制造有限公司


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DH-PECVD 等離子增強(qiáng)管式爐

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地杭州市

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更新時(shí)間：2024-04-03 15:37:26瀏覽次數(shù)：46次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：312條

所在地區(qū)：浙江杭州市

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）

詳細(xì)介紹

為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng)，因而這種 CVD 稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）。

輝光放電等離子體中：電子密度高 10 9 -10 12 /cm, 電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出 10-100倍。

主要技術(shù)指標(biāo)

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