杭州大華儀器制造有限公司
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所 在 地杭州市
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更新時間:2024-04-03 15:24:21瀏覽次數(shù):80次
聯(lián)系我時,請告知來自 儀表網(wǎng)本系統(tǒng)是公司聯(lián)合復(fù)旦大學(xué)引進(jìn)美國Instrue四極質(zhì)譜分析技術(shù),基于四極質(zhì)譜原理的RGA可以快速測量并分析真空室內(nèi)各種氣體的組份與分壓強(qiáng),采用的四極桿質(zhì)譜技術(shù)為您的應(yīng)用提供了無以比擬的氣體檢測、控制、以及定性定量分析等手段,可在毫秒級時間內(nèi)全動態(tài)范圍對氣體進(jìn)行采樣
本系統(tǒng)是公司聯(lián)合復(fù)旦大學(xué)引進(jìn)美國 Instrue 四極質(zhì)譜分析技術(shù),基于四極質(zhì)譜原理的 RGA 可以快速測量并分析真空室內(nèi)各種氣體的組份與分壓強(qiáng),采用的四極桿質(zhì)譜技術(shù)為您的應(yīng)用提供了無以比擬的氣體檢測、控制、以及定性定量分析等手段,可在毫秒級時間內(nèi)全動態(tài)范圍對氣體進(jìn)行采樣。由真空機(jī)組、氣體樣品取樣閥、殘余氣體分析儀、應(yīng)用控制軟件等組成。
適用于真空排氣檢測、真空鍍膜氣氛與殘余氣體監(jiān)控、混合氣體配比充氣、真空檢漏、粒子加速器、真空內(nèi)表面放氣鑒定、零件污染源判斷、低溫泵再生,以及去氣劑狀態(tài)測量等。
產(chǎn)品已獲得發(fā)明 1 項(xiàng)、實(shí)用新型 2 項(xiàng),申請發(fā)明 1 項(xiàng)、 實(shí)用新型 1 項(xiàng);
主要技術(shù)創(chuàng)新特點(diǎn)
1、采用微型腔體四極質(zhì)譜氣體采樣探頭,整機(jī)插拔式安裝。探頭的組裝采用自對準(zhǔn)結(jié)構(gòu),在限度內(nèi)減少真空系統(tǒng)引入塵埃,且便于清洗維護(hù)后的再次組裝;
2、自適應(yīng)高頻諧振 RF 電源,全固態(tài)電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),軟件自動掃描調(diào)節(jié)頻率,實(shí)現(xiàn) RF 驅(qū)動電路 Q 值,實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)電控部件小型集成化,提高整機(jī)可靠性;
3、將物理思路與嵌入式軟件相結(jié)合,采用了氣體分子質(zhì)譜自動校準(zhǔn)軟件,使得在開機(jī)測量過程中無需外部輔助條件便可始終保持譜峰識別的準(zhǔn)確性。
主要科研實(shí)驗(yàn)內(nèi)容
1、能夠詳細(xì)地分析真空系統(tǒng)內(nèi)部的微量氣體成份種類,各組份分壓強(qiáng)及系統(tǒng)總壓強(qiáng),同時記錄各組氣體分壓強(qiáng)隨時間的變化;
2、可以任意設(shè)定包括氦在內(nèi)的樣品氣體用作真空系統(tǒng)檢漏;
3、在使用時對四極質(zhì)譜分析過程的多種參數(shù)進(jìn)行自由設(shè)定,可以根據(jù)各種電參數(shù)的改變,看對氣氛質(zhì)譜分析的影響,從而易于在基本原理的層次上對四極桿質(zhì)譜教學(xué)分析過程有深入的理解。
主要技術(shù)參數(shù)
1、極限真空:6.7×10 -5 Pa;
2、抽氣系統(tǒng):2XZ-4 機(jī)械泵 +FF100/110 分子泵;風(fēng)冷或水冷;
3、測量范圍:1 ~ 100AMU(質(zhì)量與電荷的比例);
4、探測器種類:法拉第杯;
5、工作壓強(qiáng):UHV(極限真空)~ 5.0×10 -2 Pa;
6、分辨率:峰高 10% 處小于 1.0 AMU ( 依據(jù) 1993 AVS 推薦方法 )
7、測量速度:2 ms ~ 60 s/AMU (軟件設(shè)定);
8、工作溫度(探頭):200℃;
9、應(yīng)用軟件:AccuRay 2.0 for Windows;
10、通訊接口:USB 2.0 ( 非隔離,115200 波特率 );
11、用戶需自備或另購冷卻水系統(tǒng)。
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