SEMILAB壽命測(cè)量裝置WT-2000MCT
壽命測(cè)定裝置WT-2000(μPCD載體壽命),壽命測(cè)量裝置WT-2000MCT,SPV設(shè)備FAaST 310/210 SPV,FAaST 350 DSPV,載流子壽命測(cè)定裝置WT-2000/2A
SEMILAB壽命測(cè)量裝置WT-2000MCT
SEMILAB壽命測(cè)量裝置WT-2000MCT
壽命測(cè)定裝置WT-2000(μPCD載體壽命),壽命測(cè)量裝置WT-2000MCT,SPV設(shè)備FAaST 310/210 SPV,FAaST 350 DSPV,載流子壽命測(cè)定裝置WT-2000/2A
產(chǎn)品介紹
壽命測(cè)量裝置 WT-2000 是一個(gè)功能強(qiáng)大的臺(tái)式測(cè)量平臺(tái),能夠執(zhí)行許多不同的半導(dǎo)體材料表征?;鞠到y(tǒng)包括執(zhí)行表征所需的所有間接功能,包括電源、計(jì)算機(jī)、操作軟件和 XY 測(cè)量臺(tái)。該系列通常用于創(chuàng)建地圖,在地圖上使用可編程光柵掃描晶圓。WT-2000 還允許在特定的可編程位置進(jìn)行測(cè)量。除了硅,SEMILAB 還經(jīng)營(yíng)使用短波長(zhǎng)激發(fā)激光的寬禁帶半導(dǎo)體(SiC、GaN)的壽命測(cè)量設(shè)備。
WT-2000MCT 專為不同樣品溫度下的 µ-PCD 壽命測(cè)量而設(shè)計(jì)。
除了硅,SEMILAB 還經(jīng)營(yíng)使用短波長(zhǎng)激發(fā)激光的寬禁帶半導(dǎo)體(SiC、GaN)的壽命測(cè)量設(shè)備。
FAaST 310/210 SPV 裝置在適合研發(fā)和小批量制造環(huán)境的設(shè)計(jì)中提供快速、全晶圓污染成像。
FAaST 330/230 DSPV 裝置可對(duì)重金屬污染進(jìn)行非接觸式高速在線監(jiān)測(cè)??梢赃M(jìn)行晶圓處理。
FAaST 350 DSPV 裝置是重金屬污染非接觸式高速監(jiān)測(cè)旗艦平臺(tái)。能夠檢測(cè)低于 10 8 個(gè)原子/ cm -3的鐵并從雙 FOUP 裝載端口裝載站自動(dòng)處理晶圓,它能夠支持苛刻的大批量生產(chǎn)環(huán)境。
WT-2000 是中型制造工廠和實(shí)驗(yàn)室的推薦裝置。