此款設(shè)備簡(jiǎn)易分體式結(jié)構(gòu)，能將升華體置于手套箱內(nèi)部，控制部分及真空部分置于手套箱外，成本低，操作簡(jiǎn)易。能初步滿足材料進(jìn)出及升華過(guò)程中的氣氛保護(hù)要求。法蘭為球頭真空吸附方式密封，無(wú)需工具操作，大大降低了手套箱內(nèi)的操作難度，整個(gè)操作過(guò)程材料與大氣隔絕，避免了大氣中水、氧的影響以及灰塵的污染，是制備高純度半導(dǎo)體前驅(qū)體及相關(guān)材料的。                                      

技術(shù)參數(shù)：

設(shè)備長(zhǎng)度500mm，亮面不銹鋼

外管尺寸50mm*700mm

單層金屬濾網(wǎng)，簡(jiǎn)易拆卸，易清潔保養(yǎng)

每段加熱區(qū)長(zhǎng)度=100+200+100mm

軟件溫控保護(hù)溫=600°C

極限真空10^-4Pa

升華爐體內(nèi)置于手套箱內(nèi)