此款設(shè)備將實(shí)驗(yàn)級(jí)別的升華機(jī)進(jìn)出料端均對(duì)接手套箱，手套箱可內(nèi)襯四氟或噴涂特氟能起到防腐作用，半導(dǎo)體材料升華儀根據(jù)材料升華溫度、分子量的差異，對(duì)于材料進(jìn)行提純，參數(shù)準(zhǔn)確，工藝可靠穩(wěn)定，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，單次升華可大幅度降低有機(jī)材料中的雜質(zhì)金屬離子濃度，將材料的純度提升一至三個(gè)數(shù)量級(jí)。整個(gè)操作過程材料與大氣隔絕，避免了大氣中水、氧的影響以及灰塵的污染，是制備高純度半導(dǎo)體前驅(qū)體及相關(guān)材料的。

參數(shù)：