雙溫場滑軌爐

  主要特點(diǎn)：

  滑軌式快速升溫爐是專為生長石墨烯研制的石墨烯生長專用爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實(shí)驗(yàn)，這款設(shè)備是根據(jù)開啟式真空管式爐改裝而來的，操作時(shí)可將實(shí)驗(yàn)需要的恒定高溫直接推到樣品處，使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處，使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下，得到快速的降溫速率。

  技術(shù)參數(shù)：

  額定功率（KW）：4

  額定電壓（V）：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

  溫度（℃）：1200（1 hour）

  持續(xù)工作溫度（℃）：1100

  升& 降溫速率（℃/S）：≤20

  爐管尺寸（mm）：高純石英管Φ50×1900（管徑可選）

  加熱區(qū)長度（mm） :230+230

  恒溫區(qū)長度（mm）：100+100

  控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制具有超溫和斷偶報(bào)警功能

  控溫精度（℃）：±1

  密封系統(tǒng)：爐管兩端配304不銹鋼水冷密封法蘭（包括精密針閥，指針式真空壓力表，法蘭進(jìn)氣端配置兩個(gè)Φ6mm卡套進(jìn)氣口。

  凈重（Kg）：80

射頻電源500W

  信號(hào)頻率：13.56 MHz±0.005%

  功率輸出范圍：L5W-500W

  反射功率：200W

  射頻輸出接口：50 Ω, N-type, female

  功率穩(wěn)定度：±0.1%

  諧波分量：≤-50dbc

  供電電壓：單相交流（187V-253V）

  頻率：50/60HZ

  整機(jī)效率：>=70%

  功率因素：>=90%

  冷卻方式：強(qiáng)制風(fēng)冷

供氣系統(tǒng)

  工作電壓：185~245V 50HZ

  輸出功率：18W

  流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程：100sccm，200sccm，200sccm，500sccm（非特殊以氮?dú)鈽?biāo)定，量程可選）

  工作溫度：5~45℃

  工作壓差：0.1~0.5MPa

  壓力：3MPa

  準(zhǔn)確度：±1.5% FS

  測量范圍：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）

  針閥：316不銹鋼

  混氣罐：Φ80×120mm

  截止閥：Φ6mm"316不銹鋼針閥

  尺寸：600×600×650 mm

低真空機(jī)組VAU-02

  空氣相對(duì)濕度： ≤85%

  工作電電壓：220V±10%  50~60HZ

  抽氣速率：8m3/h

  極限真空：4X10-2Pa

  實(shí)驗(yàn)真空度：1.0X10-1Pa

  容油量： 1.1L

  進(jìn)氣口口徑：KF25

  排氣口口徑：KF25

  轉(zhuǎn)速：1450rpm

  噪音：50dB

  外型尺寸：600×600×600mm