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所 在 地合肥市
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更新時間:2023-11-08 13:26:13瀏覽次數(shù):100次
聯(lián)系我時,請告知來自 儀表網(wǎng)三溫區(qū)滑軌式PECVD系統(tǒng)(BTF-1200C-III-SL-PECV
雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng) BTF-1200C-II-PECVD/BTF-1
微型PECVD系統(tǒng)BTF-1200C-S-PECVD
產(chǎn)品簡介: 本設(shè)備主要針對實驗中試石墨烯生長和制備使用,同時該設(shè)備可以用于碳納米管的生長。可制備出高質(zhì)量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領(lǐng)域。 高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,有利于爐內(nèi)溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控制系統(tǒng),控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫,電力調(diào)制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù),無須操作人員的干預(yù),可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號,同時系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求,關(guān)鍵電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進口產(chǎn)品,做到高性能、免維護,提高了設(shè)備質(zhì)量的可靠性。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
1、加熱系統(tǒng)
2、PE射頻電源
3、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)
4、機械泵
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