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安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
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微型PECVD系統(tǒng)BTF-1200C-S-PECVD

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地合肥市

聯(lián)系方式:董經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間:2023-11-08 13:26:13瀏覽次數(shù):100次

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產(chǎn)品簡介:本設(shè)備主要針對實驗中試石墨烯生長和制備使用,同時該設(shè)備可以用于碳納米管的生長

產(chǎn)品簡介:

本設(shè)備主要針對實驗中石墨烯生長和制備使用,同時該設(shè)備可以用于碳納米管的生長。可制備出高質(zhì)量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領(lǐng)域。

高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,有利于爐內(nèi)溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控制系統(tǒng),控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫,電力調(diào)制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù),無須操作人員的干預(yù),可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號,同時系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求,關(guān)鍵電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進口產(chǎn)品,做到高性能、免維護,提高了設(shè)備質(zhì)量的可靠性。               

 1、加熱系統(tǒng)

溫度

1200℃

使用溫度

≤1100℃

爐膛有效尺寸

Φ100mm(適用于2-3英寸樣品,爐管直徑可根據(jù)實際需要定制。)

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定。

加熱長度

230mm

恒溫長度

100mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

單相,220V,50Hz

2、PE射頻電源

功率輸出范圍

0W~500W

反射功率

100W

射頻輸出接口

50 Ω, N-type, female

功率穩(wěn)定度

≤5W

諧波分量

≤-50dbc

供電電壓

單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

整機效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷卻方式

強制風冷

3、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標準量程(N2)

50sccm,100sccm、500sccm(可根據(jù)用戶要求定制)

準確度

±1.5%F.S

線性

±1%F.S

重復精度

±0.2%F.S

響應(yīng)時間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6

4、機械泵

抽氣速率

10m³/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連

 

 

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